[发明专利]一种光刻胶储存容器及其储存方法

说明书

本申请公开了一种光刻胶储存容器，包括：第一储存容器，顶部设置有光刻胶进口以及第一气泡排出口；第二储存容器，其底部与第一储存容器底部组成连通结构，第二储存容器外壁设置有光电传感器。本申请还提供一种光刻胶储存容器的储存方法。在补液的过程中由于第二储存容器底部与第一储存容器底部组成连通结构的存在，使流入第二储存容器内的光刻胶不存在气泡，因此解决了光刻胶储存容器由于气泡干扰光电传感器发生设备频繁报警的问题。

技术领域

本申请涉及集成电路制造技术领域，具体涉及一种光刻胶储存容器及其储存方法。

背景技术

在半导体集成电路制造过程中，需要频繁使用光刻胶涂布设备，光刻胶中的气泡会影响光刻胶的涂布质量，光刻胶储存容器用于储存光刻胶，光刻胶从光刻胶储存容器底部的光刻胶排出口流出用于光刻胶涂布设备。图1为当前光刻胶储存容器的立体结构示意图；图1a为当前光刻胶储存容器需要补液前剖面结构示意图；图1b为当前光刻胶储存容器补液中剖面结构示意图；图1c为当前光刻胶储存容器正常补液完成后的剖面结构示意图；参照图1以及图1a至图1c，随着光刻胶的使用，需要随时对光刻胶储存容器10进行补液，光刻胶储存容器10顶部设置有光刻胶进口管11以及气泡排出口16，光刻胶12通过光刻胶进口管11进行补液，光刻胶储存容器10外壁设置有三个光电传感器，包括靠近光刻胶进口管11设置的第一光电传感器13、远离光刻胶进口设置的第三光电传感器15以及位于第一光电传感器13和第三光电传感器15之间的第二光电传感器14，当光刻胶储存容器10内的光刻胶液面低于第二光电传感器14所处平面时，第二光电传感器14在其所处位置平面内感应不到有液体，第二光电传感器14所对应的逻辑显示为0，触发补液机制系统开始补液，当所补液面超过第二光电传感器14所处平面时，第二光电传感器14在其所处位置平面内感应到有液体，第二光电传感器14所对应的逻辑显示为1，此时液面还没有到达第一光电传感器13所处位置平面，第一光电传感器13所对应的逻辑显示为0，继续补液，直到液面超过第一光电传感器13所处位置平面，第一光电传感器13对应的逻辑显示为1，即补液完成。

然而在实际操作中在补液的过程中常常会出现光电传感器误报警的情况，图1d为当前光刻胶储存容器在补液过程中液面产生气泡干扰的剖面结构示意图。参照图1d，当光刻胶储存容器10开始补液时，使用气体压力将光刻胶12从光刻胶瓶通过光刻胶储存容器10的光刻胶进口管11输送至光刻胶储存容器10内，由于重力作用，光刻胶12在从光刻胶进口管道滴落至光刻胶储存容器10的补液面时，会在补液面处产生大量气泡，有些气泡黏附在光刻胶储存容器10内壁上，并且有气泡刚好黏附在第二光电传感器14所在位置处，使第二光电传感器14感应不到液体，这时第二光电传感器14所对应的逻辑显示为0，导致第二光电传感器14对应的逻辑显示与实际不符，设备报警供液错误，报警时产品需要返工并且需要定时进行排泡处理，增加产品成本。

发明内容

本申请提供了一种光刻胶储存容器及其储存方法，以解决相关技术中光刻胶储存容器在补液过程中液面容易产生气泡导致光电传感器误感应的问题。

一方面，本申请实施例提供了一种光刻胶储存容器，包括：第一储存容器，顶部设置有光刻胶进口以及第一气泡排出口；第二储存容器，其底部与第一储存容器底部组成连通结构，所述第二储存容器外壁设置有光电传感器。

可选择的，所述第二储存容器顶部设置有第二气泡排出口。

可选择的，所述第二储存容器外壁设置有多个光电传感器，包括靠近所述光刻胶进口设置的第一光电传感器、远离所述光刻胶进口设置的第三光电传感器以及位于所述第一光电传感器和所述第三光电传感器之间的第二光电传感器，当光刻胶储存容器内的光刻胶液面低于所述第二光电传感器所处平面时，触发补液机制系统开始补液。

可选择的，光刻胶储存容器还包括一传输管道，所述传输管道的管口与所述光刻胶进口相匹配。

可选择的，所述光刻胶储存容器选用不造成额外颗粒物污染的材质。

可选择的，所述光刻胶储存容器选用不与光刻胶反应的材质。