[发明专利]一种光刻胶储存容器及其储存方法在审
| 申请号： | 202111344776.1 | 申请日： | 2021-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN113968425A | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 李敏超;马健超;陈昱安;郭善明;陈广进 | 申请（专利权）人： | 华虹半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B65D88/54 | 分类号： | B65D88/54;B65D88/74;B65D90/00;B65D90/48 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 刘昌荣 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 储存 容器 及其 方法 | ||
1.一种光刻胶储存容器，其特征在于，包括：
第一储存容器，顶部设置有光刻胶进口以及第一气泡排出口；
第二储存容器，其底部与所述第一储存容器底部组成连通结构，所述第二储存容器外壁设置有光电传感器。
2.根据权利要求1所述的光刻胶储存容器，其特征在于，所述第二储存容器顶部设置有第二气泡排出口。
3.根据权利要求1所述的光刻胶储存容器，其特征在于，所述第二储存容器外壁设置有多个光电传感器，包括靠近所述光刻胶进口设置的第一光电传感器、远离所述光刻胶进口设置的第三光电传感器以及位于所述第一光电传感器和所述第三光电传感器之间的第二光电传感器，当光刻胶储存容器内的光刻胶液面低于所述第二光电传感器所处平面时，触发补液机制系统开始补液。
4.根据权利要求1所述的光刻胶储存容器，其特征在于，还包括一传输管道，所述传输管道的管口与所述光刻胶进口相匹配。
5.根据权利要求1所述的光刻胶储存容器，其特征在于，所述光刻胶储存容器选用不造成额外颗粒物污染的材质。
6.根据权利要求1或5所述的光刻胶储存容器，其特征在于，所述光刻胶储存容器选用不与光刻胶反应的材质。
7.根据权利要求1所述的光刻胶储存容器，其特征在于，所述第二储存容器底部设置有光刻胶排出口。
8.一种如权利要求1所述的光刻胶储存容器的储存方法，其特征在于，包括：
通过第二储存容器外壁设置的光电传感器判断是否进行补液，补液时光刻胶从第一储存容器的光刻胶进口滴入；
所述第一储存容器光刻胶液面出现气泡，气泡以下的光刻胶通过所述第一储存容器底部和所述第二储存容器底部组成的连通结构进入所述第二储存容器。
9.根据权利要求1所述的光刻胶储存容器的储存方法，其特征在于，所述第二储存容器外壁设置有多个光电传感器，包括靠近所述光刻胶进口设置的第一光电传感器、远离所述光刻胶进口设置的第三光电传感器以及位于所述第一光电传感器和所述第三光电传感器之间的第二光电传感器，当光刻胶储存容器内的光刻胶液面低于所述第二光电传感器所处平面时，触发补液机制系统开始补液。
10.根据权利要求1所述的光刻胶储存容器的储存方法，其特征在于，所述第一储存容器顶部设置有第一气泡排出口，所述第一储存容器内的气泡通过所述第一气泡排出口排出。
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