[发明专利]一种超薄金属箔的制备方法在审
| 申请号： | 202111335008.X | 申请日： | 2021-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN114086120A | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 唐谊平;邓意达 | 申请（专利权）人： | 杭州四马化工科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海领匠知识产权代理有限公司 31404 | 代理人： | 黄利群 |
| 地址： | 310000 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明属于金属材料领域，尤其涉及一种超薄铜箔的制备方法。所述方法包括：1）设置可动的载体，载体至少一面为负载面，且载体活动区域至少设置一个负载区；2）所述载体运动至负载区前的载体活动区域为上游区，所述载体在上游区中时，在载体的负载面覆盖过渡材料，形成过渡层；3）所述载体在负载区内运动时在过渡层表面进行金属铜的气相沉积，形成铜箔；4）所述载体运动离开负载区后的载体活动区域为下游区，所述过渡层在下游区内去除，实现铜箔和载体的分离；5）收集分离后的铜箔。本发明对于超薄铜箔的制备效率和良品率具有显著的提升；能够显著降低设备成本、工艺成本和物料成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超薄 金属 制备 方法 | ||
【主权项】：
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