[发明专利]一种超薄金属箔的制备方法在审

专利信息
申请号: 202111335008.X 申请日: 2021-11-11
公开(公告)号: CN114086120A 公开(公告)日: 2022-02-25
发明(设计)人: 唐谊平;邓意达 申请(专利权)人: 杭州四马化工科技有限公司
主分类号: C23C14/14 分类号: C23C14/14;C23C14/24
代理公司: 上海领匠知识产权代理有限公司 31404 代理人: 黄利群
地址: 310000 浙江省杭*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 超薄 金属 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种超薄金属箔的制备方法,其特征在于,

所述方法包括:

1)设置可动的载体,载体至少一面为负载面,且载体活动区域至少设置一个负载区;

2)所述载体运动至负载区前的载体活动区域为上游区,所述载体在上游区中时,在载体的负载面覆盖过渡材料,形成过渡层;

3)所述载体在负载区内运动时在过渡层表面进行金属的气相沉积,形成金属箔;

4)所述载体运动离开负载区后的载体活动区域为下游区,所述过渡层在下游区内去除,实现金属箔和载体的分离;

5)收集分离后的金属箔。

2.根据权利要求1所述的一种超薄金属箔的制备方法,其特征在于,

步骤1)所述载体在负载区内保持平整状态做平移运动。

3.根据权利要求1所述的一种超薄金属箔的制备方法,其特征在于,

步骤2)所述过渡材料为可溶性材料;

所述可溶性材料可溶于水和/或有机溶剂;

所述可溶性材料所形成的过渡层在步骤4)所述下游区中以溶解的方式去除。

4.根据权利要求3所述的一种超薄金属箔的制备方法,其特征在于,

所述可溶性材料为PMMA。

5.根据权利要求3所述的一种超薄金属箔的制备方法,其特征在于,

所述可溶性材料为淀粉。

6.根据权利要求1所述的一种超薄金属箔的制备方法,其特征在于,

所述过渡材料为碘。

7.根据权利要求6所述的一种超薄金属箔的制备方法,其特征在于,

所述碘采用气相沉积的方式覆盖在载体的负载面形成过渡层。

8.根据权利要求6或7所述的一种超薄金属箔的制备方法,其特征在于,

所述碘形成的过渡层在下游区以热升华的方式去除。

9.根据权利要求1所述的一种超薄金属箔的制备方法,其特征在于,

步骤3)所述金属采用蒸镀的方式沉积在过渡层表面形成金属箔。

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