[发明专利]一种超薄金属箔的制备方法在审
申请号: | 202111335008.X | 申请日: | 2021-11-11 |
公开(公告)号: | CN114086120A | 公开(公告)日: | 2022-02-25 |
发明(设计)人: | 唐谊平;邓意达 | 申请(专利权)人: | 杭州四马化工科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/14 | 分类号: | C23C14/14;C23C14/24 |
代理公司: | 上海领匠知识产权代理有限公司 31404 | 代理人: | 黄利群 |
地址: | 310000 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 超薄 金属 制备 方法 | ||
1.一种超薄金属箔的制备方法,其特征在于,
所述方法包括:
1)设置可动的载体,载体至少一面为负载面,且载体活动区域至少设置一个负载区;
2)所述载体运动至负载区前的载体活动区域为上游区,所述载体在上游区中时,在载体的负载面覆盖过渡材料,形成过渡层;
3)所述载体在负载区内运动时在过渡层表面进行金属的气相沉积,形成金属箔;
4)所述载体运动离开负载区后的载体活动区域为下游区,所述过渡层在下游区内去除,实现金属箔和载体的分离;
5)收集分离后的金属箔。
2.根据权利要求1所述的一种超薄金属箔的制备方法,其特征在于,
步骤1)所述载体在负载区内保持平整状态做平移运动。
3.根据权利要求1所述的一种超薄金属箔的制备方法,其特征在于,
步骤2)所述过渡材料为可溶性材料;
所述可溶性材料可溶于水和/或有机溶剂;
所述可溶性材料所形成的过渡层在步骤4)所述下游区中以溶解的方式去除。
4.根据权利要求3所述的一种超薄金属箔的制备方法,其特征在于,
所述可溶性材料为PMMA。
5.根据权利要求3所述的一种超薄金属箔的制备方法,其特征在于,
所述可溶性材料为淀粉。
6.根据权利要求1所述的一种超薄金属箔的制备方法,其特征在于,
所述过渡材料为碘。
7.根据权利要求6所述的一种超薄金属箔的制备方法,其特征在于,
所述碘采用气相沉积的方式覆盖在载体的负载面形成过渡层。
8.根据权利要求6或7所述的一种超薄金属箔的制备方法,其特征在于,
所述碘形成的过渡层在下游区以热升华的方式去除。
9.根据权利要求1所述的一种超薄金属箔的制备方法,其特征在于,
步骤3)所述金属采用蒸镀的方式沉积在过渡层表面形成金属箔。
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