[发明专利]一种分体式结构的化学气相沉积炉

摘要

本发明公开了一种分体式结构的化学气相沉积炉。包括机架和升降机构，所述升降机构上连接有炉底，所述炉底上固定连接有中圈法兰，所述中圈法兰上通过螺栓与炉身连接，所述炉身顶部设置有炉盖，所述中圈法兰上固定连接有内外筒，所述内外分隔筒将所述炉身内分隔为内发热空间和外发热空间，所述内发热空间设置有内发热体，所述外发热空间设置有外发热体，所述炉底上设置有料台，料柱放置于所述料台上，且置于所述内发热体与所述外发热体之间。本发明一方面采用内外双室加热，大大提高了沉积区的温度均匀性。另一方面采用半固定式分体结构设计，实现了内筒的快捷拆装，大大缩短了设备的维护保养工时，提高了沉积炉的使用率。