[发明专利]一种分体式结构的化学气相沉积炉

权利要求书

1.一种分体式结构的化学气相沉积炉，其特征在于：包括机架(1)和升降机构(2)，所述升降机构(2)上连接有炉底(3)，所述炉底(3)上固定连接有中圈法兰(4)，所述中圈法兰(4)上通过螺栓(5)与炉身(6)连接，所述炉身(6)顶部设置有炉盖(7)，所述中圈法兰(4)上固定连接有内外筒(8)，所述内外分隔筒(8)将所述炉身(6)内分隔为内发热空间和外发热空间，所述内发热空间设置有内发热体(9)，所述外发热空间设置有外发热体(10)，所述炉底(3)上设置有料台(11)，料柱(12)放置于所述料台(11)上，且置于所述内发热体(9)与所述外发热体(10)之间。

2.根据权利要求1所述的分体式结构的化学气相沉积炉，其特征在于：所述升级机构(2)为丝杆升降机。

3.根据权利要求1所述的分体式结构的化学气相沉积炉，其特征在于：所述内外分隔筒(8)为碳/碳复合材料薄壁筒。

4.根据权利要求1所述的分体式结构的化学气相沉积炉，其特征在于：所述内发热体(9)为碳/碳发热体，或等静压石墨发热体，或电极石墨发热体。

5.根据权利要求1所述的分体式结构的化学气相沉积炉，其特征在于：所述外发热体(10)为等静压石墨发热体。

6.根据权利要求1所述的分体式结构的化学气相沉积炉，其特征在于：还包括尾气处理装置(13)，所述尾气处理装置(13)与炉盖(7)连接，并连通至所述炉身(6)内。

7.根据权利要求6所述的分体式结构的化学气相沉积炉，其特征在于：所述尾气处理装置(13)包括依次连接的一级过滤器、二级过滤器以及三级过滤器。

8.根据权利要求7所述的分体式结构的化学气相沉积炉，其特征在于：所述一级过滤器为活性炭与金属过滤网构成。

9.根据权利要求7所述的分体式结构的化学气相沉积炉，其特征在于：所述二级过滤器冷凝过滤器。

10.根据权利要求7所述的分体式结构的化学气相沉积炉，其特征在于：所述三级过滤器为布袋除尘器。