[发明专利]在封装载板中嵌入倒装芯片的封装工艺在审
申请号: | 202111301851.6 | 申请日: | 2021-11-04 |
公开(公告)号: | CN114203559A | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 马洪伟;阳帆 | 申请(专利权)人: | 江苏普诺威电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/56;H01L21/60 |
代理公司: | 昆山中际国创知识产权代理有限公司 32311 | 代理人: | 孙海燕 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种在封装载板中嵌入倒装芯片的封装工艺,包括如下步骤:将带有槽腔的基板放入基板盒里,将基板盒放入热风循环烤箱中烘烤;将烘烤后的基板固定在点锡机的支架上,利用点锡机在基板的槽底焊盘上涂覆一层锡膏;点锡膏后的基板被传送到芯片的贴片平台上,贴片机将芯片贴装到基板的槽腔内,并使芯片焊盘与槽底焊盘通过锡膏连接;以及回流焊、电浆清洗、塑封、再烘烤和印字工艺,而得到成品封装载板。本封装工艺将芯片倒装于基板上,使得芯片与基板通过锡膏直接进行电气连接,因此能够应对高密度、多I/O接口芯片的封装要求,得到了更轻、更薄、更小的封装载板,满足了市场需求。 | ||
搜索关键词: | 装载 嵌入 倒装 芯片 封装 工艺 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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