[发明专利]在封装载板中嵌入倒装芯片的封装工艺在审
申请号: | 202111301851.6 | 申请日: | 2021-11-04 |
公开(公告)号: | CN114203559A | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 马洪伟;阳帆 | 申请(专利权)人: | 江苏普诺威电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/56;H01L21/60 |
代理公司: | 昆山中际国创知识产权代理有限公司 32311 | 代理人: | 孙海燕 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 装载 嵌入 倒装 芯片 封装 工艺 | ||
本发明涉及一种在封装载板中嵌入倒装芯片的封装工艺,包括如下步骤:将带有槽腔的基板放入基板盒里,将基板盒放入热风循环烤箱中烘烤;将烘烤后的基板固定在点锡机的支架上,利用点锡机在基板的槽底焊盘上涂覆一层锡膏;点锡膏后的基板被传送到芯片的贴片平台上,贴片机将芯片贴装到基板的槽腔内,并使芯片焊盘与槽底焊盘通过锡膏连接;以及回流焊、电浆清洗、塑封、再烘烤和印字工艺,而得到成品封装载板。本封装工艺将芯片倒装于基板上,使得芯片与基板通过锡膏直接进行电气连接,因此能够应对高密度、多I/O接口芯片的封装要求,得到了更轻、更薄、更小的封装载板,满足了市场需求。
技术领域
本发明涉及封装工艺,具体涉及一种在封装载板中嵌入倒装芯片的封装工艺。
背景技术
在现有的封装工艺中,如图1所示,采用封装基板1作为底座,正装芯片2通过专用的胶水安装在基板上,在通过金线4键合的方式让芯片与基板实现电气连接,最后通过封装壳3将芯片封装,即传统工艺是采用金线键合加外壳封装的方式。传统工艺存在如下缺点:在键合点较多、较复杂的情况下,引线键合容易出现交叉短路的风险;引线丝在生产过程中常常出现倒伏、变形、扭曲等机械损伤,并有开路失效的风险;引线键合于镀金层的底层金属上,失去镀金层保护的底层金属在高温高湿等条件下易受到氧化、腐蚀、键合于该处的金丝易发生开路失效;封装过程的气密性不强,且内部无填充各部件无有效支撑,因此没有良好的环境性保护。
发明内容
为了克服上述缺陷,本发明提供一种在封装载板中嵌入倒装芯片的封装工艺,该封装工艺将芯片倒装于基板上,使得芯片与基板通过锡膏直接进行电气连接,因此能够应对高密度、多I/O接口芯片的封装要求,得到了更轻、更薄、更小的封装载板,满足了市场需求。
本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种在封装载板中嵌入倒装芯片的封装工艺,包括如下步骤:
步骤一:基板预烘烤:将带有槽腔的基板放入基板盒里,将基板盒放入热风循环烤箱中烘烤;
步骤二:点锡膏:将烘烤后的基板固定在点锡机的支架上,利用点锡机在基板的槽底焊盘上涂覆一层锡膏;
步骤三:贴芯片:点锡膏后的基板被传送到芯片的贴片平台上,贴片机将芯片贴装到基板的槽腔内,并使芯片焊盘与槽底焊盘通过锡膏连接;
步骤四:回流焊:将贴装完芯片的基板放入回流设备中,利用回流设备加热使锡膏固化,从而使得芯片与基板固定连接;
步骤五:电浆清洗:将回流焊后的基板送入电浆清洗机中清洗,去除基板和芯片表面污染物以及残留的助焊剂,并增加焊点的可靠性以及粗化基板表面;
步骤六:塑封:将清洗后的基板放入压膜机上,压膜机将塑封料注入基板的槽腔中,而将芯片包封,待塑封料硬化后取出产品;
步骤七:再烘烤:将塑封后的产品放入烤箱内再次烘烤;
步骤八:印字:将烘烤后的产品上标示文字,得到成品封装载板。
优选地,在步骤一中,热风循环烤箱中为氮气环境,烘烤的条件为:温度为150-180℃、烘烤时间为1-3h。
优选地,在步骤二中,点锡时,由点锡机给针筒内锡膏施加压力,锡膏从针筒前部安装的点锡头溢出,同时点锡头按照程序设定的路径运动,在基板的槽底焊盘上涂覆出一层锡膏。
优选地,所述点锡机给针筒内锡膏施加压力,锡膏会从点针筒前部的点锡头溢出,同时点锡头按程序指定的路径运行。
优选地,在步骤三中,所述贴片平台被加热到100-150℃,贴片机的机械抓取手臂吸取芯片后,运行至基板的上方,以一定压力将芯片贴装到基板的槽底焊盘上。
优选地,在步骤四中,回流保护气体为氮气。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏普诺威电子股份有限公司,未经江苏普诺威电子股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111301851.6/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种用于猪舍的加药装置
- 下一篇:一种由平面指纹估计手指三维姿态的方法和系统
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造