[发明专利]在封装载板中嵌入倒装芯片的封装工艺在审

专利信息
申请号: 202111301851.6 申请日: 2021-11-04
公开(公告)号: CN114203559A 公开(公告)日: 2022-03-18
发明(设计)人: 马洪伟;阳帆 申请(专利权)人: 江苏普诺威电子股份有限公司
主分类号: H01L21/50 分类号: H01L21/50;H01L21/56;H01L21/60
代理公司: 昆山中际国创知识产权代理有限公司 32311 代理人: 孙海燕
地址: 215300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 装载 嵌入 倒装 芯片 封装 工艺
【权利要求书】:

1.一种在封装载板中嵌入倒装芯片的封装工艺,其特征在于:包括如下步骤:

步骤一:基板预烘烤:将带有槽腔(11)的基板(10)放入基板盒里,将基板盒放入热风循环烤箱中烘烤;

步骤二:点锡膏:将烘烤后的基板(10)固定在点锡机的支架上,利用点锡机在基板的槽底焊盘(12)上涂覆一层锡膏(20);

步骤三:贴芯片:点锡膏后的基板被传送到芯片的贴片平台上,贴片机将芯片(30)贴装到基板的槽腔(11)内,并使芯片焊盘(31)与槽底焊盘(12)通过锡膏(20)连接;

步骤四:回流焊:将贴装完芯片的基板(10)放入回流设备中,利用回流设备加热使锡膏固化,从而使得芯片与基板固定连接;

步骤五:电浆清洗:将回流焊后的基板(10)送入电浆清洗机中清洗,去除基板(10)和芯片(30)表面污染物以及残留的助焊剂,并增加焊点的可靠性以及粗化基板表面;

步骤六:塑封:将清洗后的基板(10)放入压膜机上,压膜机将塑封料(40)注入基板的槽腔(11)中,而将芯片(30)包封,待塑封料(40)硬化后取出产品;

步骤七:再烘烤:将塑封后的产品放入烤箱内再次烘烤;

步骤八:印字:将烘烤后的产品上标示文字,得到成品封装载板。

2.根据权利要求1所述的在封装载板中嵌入倒装芯片的封装工艺,其特征在于:在步骤一中,热风循环烤箱中为氮气环境,烘烤的条件为:温度为150-180℃、烘烤时间为1-3h。

3.根据权利要求1所述的在封装载板中嵌入倒装芯片的封装工艺,其特征在于:在步骤二中,点锡时,由点锡机给针筒内锡膏施加压力,锡膏从针筒前部安装的点锡头溢出,同时点锡头按照程序设定的路径运动,在基板(10)的槽底焊盘(12)上涂覆出一层锡膏(20)。

4.根据权利要求3所述的在封装载板中嵌入倒装芯片的封装工艺,其特征在于:所述点锡机给针筒内锡膏施加压力,锡膏会从点针筒前部的点锡头溢出,同时点锡头按程序指定的路径运行。

5.根据权利要求1所述的在封装载板中嵌入倒装芯片的封装工艺,其特征在于:在步骤三中,所述贴片平台被加热到100-150℃,贴片机的机械抓取手臂吸取芯片后,运行至基板的上方,以一定压力将芯片贴装到基板的槽底焊盘(12)上。

6.根据权利要求1所述的在封装载板中嵌入倒装芯片的封装工艺,其特征在于:在步骤四中,回流保护气体为氮气。

7.根据权利要求1所述的在封装载板中嵌入倒装芯片的封装工艺,其特征在于:在步骤六中,将焊接后的基板放置在压膜机的下模上预热达100-150℃,然后上模下压,将预热后的环氧塑封料从注塑口投入投料罐,通过注塑杆加压后,将融化后的塑封料(40)注入并充满槽腔(11),将芯片包封起来,同时槽腔内的空气排出,待塑封料(40)完全硬化后取出产品。

8.根据权利要求1所述的在封装载板中嵌入倒装芯片的封装工艺,其特征在于:在步骤七中,烘烤的条件为:温度150-200℃,时间2-8h。

9.根据权利要求1所述的在封装载板中嵌入倒装芯片的封装工艺,其特征在于:在步骤八中,利用激光的能量在产品表面刻出5-30μm深度的沟壑,通过凹凸产生的光线漫反射,从而在产品表面得到视觉上的光线反差,同时加工产生的热量引起树脂变色,与未加工部分产生颜色上的区分,完成图形打印。

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