[发明专利]在封装载板中嵌入倒装芯片的封装工艺在审
申请号: | 202111301851.6 | 申请日: | 2021-11-04 |
公开(公告)号: | CN114203559A | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 马洪伟;阳帆 | 申请(专利权)人: | 江苏普诺威电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/56;H01L21/60 |
代理公司: | 昆山中际国创知识产权代理有限公司 32311 | 代理人: | 孙海燕 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装载 嵌入 倒装 芯片 封装 工艺 | ||
1.一种在封装载板中嵌入倒装芯片的封装工艺,其特征在于:包括如下步骤:
步骤一:基板预烘烤:将带有槽腔(11)的基板(10)放入基板盒里,将基板盒放入热风循环烤箱中烘烤;
步骤二:点锡膏:将烘烤后的基板(10)固定在点锡机的支架上,利用点锡机在基板的槽底焊盘(12)上涂覆一层锡膏(20);
步骤三:贴芯片:点锡膏后的基板被传送到芯片的贴片平台上,贴片机将芯片(30)贴装到基板的槽腔(11)内,并使芯片焊盘(31)与槽底焊盘(12)通过锡膏(20)连接;
步骤四:回流焊:将贴装完芯片的基板(10)放入回流设备中,利用回流设备加热使锡膏固化,从而使得芯片与基板固定连接;
步骤五:电浆清洗:将回流焊后的基板(10)送入电浆清洗机中清洗,去除基板(10)和芯片(30)表面污染物以及残留的助焊剂,并增加焊点的可靠性以及粗化基板表面;
步骤六:塑封:将清洗后的基板(10)放入压膜机上,压膜机将塑封料(40)注入基板的槽腔(11)中,而将芯片(30)包封,待塑封料(40)硬化后取出产品;
步骤七:再烘烤:将塑封后的产品放入烤箱内再次烘烤;
步骤八:印字:将烘烤后的产品上标示文字,得到成品封装载板。
2.根据权利要求1所述的在封装载板中嵌入倒装芯片的封装工艺,其特征在于:在步骤一中,热风循环烤箱中为氮气环境,烘烤的条件为:温度为150-180℃、烘烤时间为1-3h。
3.根据权利要求1所述的在封装载板中嵌入倒装芯片的封装工艺,其特征在于:在步骤二中,点锡时,由点锡机给针筒内锡膏施加压力,锡膏从针筒前部安装的点锡头溢出,同时点锡头按照程序设定的路径运动,在基板(10)的槽底焊盘(12)上涂覆出一层锡膏(20)。
4.根据权利要求3所述的在封装载板中嵌入倒装芯片的封装工艺,其特征在于:所述点锡机给针筒内锡膏施加压力,锡膏会从点针筒前部的点锡头溢出,同时点锡头按程序指定的路径运行。
5.根据权利要求1所述的在封装载板中嵌入倒装芯片的封装工艺,其特征在于:在步骤三中,所述贴片平台被加热到100-150℃,贴片机的机械抓取手臂吸取芯片后,运行至基板的上方,以一定压力将芯片贴装到基板的槽底焊盘(12)上。
6.根据权利要求1所述的在封装载板中嵌入倒装芯片的封装工艺,其特征在于:在步骤四中,回流保护气体为氮气。
7.根据权利要求1所述的在封装载板中嵌入倒装芯片的封装工艺,其特征在于:在步骤六中,将焊接后的基板放置在压膜机的下模上预热达100-150℃,然后上模下压,将预热后的环氧塑封料从注塑口投入投料罐,通过注塑杆加压后,将融化后的塑封料(40)注入并充满槽腔(11),将芯片包封起来,同时槽腔内的空气排出,待塑封料(40)完全硬化后取出产品。
8.根据权利要求1所述的在封装载板中嵌入倒装芯片的封装工艺,其特征在于:在步骤七中,烘烤的条件为:温度150-200℃,时间2-8h。
9.根据权利要求1所述的在封装载板中嵌入倒装芯片的封装工艺,其特征在于:在步骤八中,利用激光的能量在产品表面刻出5-30μm深度的沟壑,通过凹凸产生的光线漫反射,从而在产品表面得到视觉上的光线反差,同时加工产生的热量引起树脂变色,与未加工部分产生颜色上的区分,完成图形打印。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造