[发明专利]密封销、压力检测模块和压力传感器在审

专利信息
申请号: 202111299135.9 申请日: 2021-11-04
公开(公告)号: CN116067556A 公开(公告)日: 2023-05-05
发明(设计)人: 付廷辉;梁许;王龙 申请(专利权)人: 精量电子(深圳)有限公司
主分类号: G01L7/18 分类号: G01L7/18;G01L7/08
代理公司: 上海脱颖律师事务所 31259 代理人: 脱颖
地址: 518057 广东省深圳市南山区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开一种密封销,包括:主体部,适于插入压力传感器的充液通路中并在其外表面上形成有沟槽;和端部,连接到所述主体部的一端,用于密封所述充液通路的充液口。当所述密封销被插装到所述充液通路中时,施加在所述压力传感器的膜片上的压力能够经由所述沟槽中的液体传递到所述压力传感器的压力检测芯片。在本发明中,密封销插入充液腔的充液通路中,从而能够减少充液量,改善了压力传感器的温度特性,从而能够极大地提高压力传感器的检测精度。
搜索关键词: 密封 压力 检测 模块 压力传感器
【主权项】:
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  • 桂林;高畅;张仁昌 - 中国科学院理化技术研究所
  • 2019-12-30 - 2021-06-25 - G01L7/18
  • 本发明涉及微流体压力检测技术领域,公开了一种电阻式微流体压力传感器,包括:流体层;柔性薄膜层设置在流体层的上端面,在柔性薄膜层上构造有开口朝下且向柔性薄膜层的上方凸起的微流体压力感应腔;电极层设置在柔性薄膜层的上端面,在电极层上构造有开口朝下且向电极层的上方凸起的压力感应液态电极腔,微流体压力感应腔设置在压力感应液态电极腔内,在微流体压力感应腔和压力感应液态电极腔之间构造有缓存腔室;以及微小电阻信号测量结构,其通过导线分别与液态电极流道入口和液态电极流道出口连接。该电阻式微流体压力传感器具有流体压力检测的分辨率和灵敏度较高以及微流体压力传感器的制作成本低和难度小的优点。
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