[发明专利]一种硬掩膜组合物及其制备方法、形成图案的方法在审
| 申请号： | 202111287637.X | 申请日： | 2021-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN113960880A | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 王静;毛鸿超;宋里千 | 申请（专利权）人： | 厦门恒坤新材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 胡影 |
| 地址： | 363118 福建省厦门市海沧区*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种硬掩膜组合物及其制备方法、形成图案的方法，所述硬掩膜组合物中包含一种具有极高碳含碳量的聚合物，所述聚合物由芘衍生物与高碳含量的二元醇缩合而成，使得聚合物的烷基氢数量达到最少而芳香环数达到最大。在刻蚀时，碳硬掩膜层的碳含量极度高、氢原子含量极度低时，可以赋予由其形成的硬掩膜对于碳氟化合物类的刻蚀气体的耐刻蚀性，能够减弱使用氟碳类的干法刻蚀气体刻蚀时出现的图案扭曲或弯曲现象。同时，本发明提供的用于硬掩膜组合物的聚合物因为具有刚性的稠环结构，可显示出优异地耐热性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硬掩膜 组合 及其 制备 方法 形成 图案 | ||
【主权项】：
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