[发明专利]一种硬掩膜组合物及其制备方法、形成图案的方法在审
| 申请号： | 202111287631.2 | 申请日： | 2021-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN113960879A | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 王静;毛鸿超;宋里千 | 申请（专利权）人： | 厦门恒坤新材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 李清风 |
| 地址： | 363118 福建省厦门市海沧区*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种硬掩膜组合物及其制备方法、形成图案的方法，本发明的硬掩膜组合物中包含聚合物，所述聚合物中包含由芘衍生物与具有联苯或醚基的化合物缩合而成。由于联苯和醚基的旋转特性，使得上述聚合物的柔性增加，从而能够提高硬掩膜组合物的溶解性和涂覆性，可以应用于填充在已图案化的材料层中开放的构形特征，例如通孔、沟槽。另外，由于聚合物包含高碳含量的芘衍生物，从而使硬掩膜具有更优的耐刻蚀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硬掩膜 组合 及其 制备 方法 形成 图案 | ||
【主权项】：
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