[发明专利]一种工件位置的调整方法、控制处理装置及调整系统在审
| 申请号： | 202111198383.4 | 申请日： | 2021-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN113902721A | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 张博;赵永进;潘峰;王文丽;薛书亮;袁丽娟 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/13;G06T7/73;G06K9/62 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 刘凤 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种工件位置的调整方法、控制处理装置及调整系统，所述调整方法包括：获取待检测工件的特征信息，并基于所述待检测工件的特征信息确定出所述待检测工件的参考移动轨迹；在所述待检测工件移动过程中，获取所述待检测工件的多张移动图像，并基于所述多张移动图像确定出所述待检测工件的实际移动轨迹，其中，所述多张移动图像是通过跟随所述待检测工件的移动主动获取的；若所述实际移动轨迹与所述参考移动轨迹不一致，基于所述参考移动轨迹调整所述待检测工件的位置。实现了实时、准确的比对待检测工件动态轨迹和实际轨迹的误差，并提供补偿运动轨迹的参数，实现了自动校准的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工件 位置 调整 方法 控制 处理 装置 系统 | ||
【主权项】：
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