[发明专利]一种工件位置的调整方法、控制处理装置及调整系统在审

专利信息
申请号: 202111198383.4 申请日: 2021-10-14
公开(公告)号: CN113902721A 公开(公告)日: 2022-01-07
发明(设计)人: 张博;赵永进;潘峰;王文丽;薛书亮;袁丽娟 申请(专利权)人: 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
主分类号: G06T7/00 分类号: G06T7/00;G06T7/13;G06T7/73;G06K9/62
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 刘凤
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 工件 位置 调整 方法 控制 处理 装置 系统
【说明书】:

本申请提供了一种工件位置的调整方法、控制处理装置及调整系统,所述调整方法包括:获取待检测工件的特征信息,并基于所述待检测工件的特征信息确定出所述待检测工件的参考移动轨迹;在所述待检测工件移动过程中,获取所述待检测工件的多张移动图像,并基于所述多张移动图像确定出所述待检测工件的实际移动轨迹,其中,所述多张移动图像是通过跟随所述待检测工件的移动主动获取的;若所述实际移动轨迹与所述参考移动轨迹不一致,基于所述参考移动轨迹调整所述待检测工件的位置。实现了实时、准确的比对待检测工件动态轨迹和实际轨迹的误差,并提供补偿运动轨迹的参数,实现了自动校准的功能。

技术领域

本申请涉及自动化技术领域,尤其是涉及一种工件位置的调整方法、控制处理装置及调整系统。

背景技术

计算机视觉是各个应用领域,如制造业、检验、文档分析、医疗诊断,和军事等领域中各种智能/自主系统中不可分割的一部分,它是一门关于如何运用照相机/摄像机和计算机来获取我们所需的,被拍摄对象的数据与信息的学问。形象地说,就是给计算机安装上眼睛(照相机/摄像机)和大脑(算法)用来代替人眼对目标进行识别、跟踪和测量等,从而使计算机能够感知环境。因为感知可以看作是从感官信号中提取信息,所以计算机视觉也可以看作是研究如何使人工系统从图像或多维数据中“感知”的科学。总的来说,计算机视觉就是用各种成像系统代替视觉器官获取输入信息,再由计算机来代替大脑对这些输入信息完成处理和解释。计算机视觉的最终研究目标就是使计算机能像人那样通过视觉观察和理解世界,具有自主适应环境的能力。

经研究发现,在现阶段的全自动半导体加工设备中,由于某些工件在加工的过程中对自动化有特殊的需求,需要在这些工件的移动过程中对工件进行特征识别,具体实现方式为,控制工件按照参考移动轨迹进行移动,在参考移动轨迹的固定位置处设置检测设备对工件进行识别检测,但是由于在实际检测中工件的移动轨迹是不可控的,进而固定位置处的检测设备无法实时准确获取工件的位置信息,导致对工件位置信息检测的准确性较低。

发明内容

有鉴于此,本申请的目的在于提供一种工件位置的调整方法、控制处理装置及系统,可以通过主动跟随确定出待检测工件在移动过程中的实际移动轨迹,并利用实际移动轨迹以及参考移动轨迹快速准确的调整待检测工件的位置,进而实现了可以实时、准确的比对待检测工件动态轨迹和实际轨迹的误差,并提供补偿运动轨迹的位置校准参数,提高了对待检测工件的位置进行调整的准确性。

本申请实施例提供了一种工件位置的调整方法,应用于工件位置的控制处理装置,所述调整方法包括:

获取待检测工件的特征信息,并基于所述待检测工件的特征信息确定出所述待检测工件的参考移动轨迹;

在所述待检测工件移动过程中,获取所述待检测工件的多张移动图像,并基于所述多张移动图像确定出所述待检测工件的实际移动轨迹,其中,所述多张移动图像是通过跟随所述待检测工件的移动主动获取的;

若所述实际移动轨迹与所述参考移动轨迹不一致,基于所述参考移动轨迹调整所述待检测工件的位置;

进一步的,通过以下步骤获取所述待检测工件的特征信息:

获取目标场景图像,对所述目标场景图像进行颜色灰度处理获得样本场景图像;

提取所述样本场景图像内包括的所有轮廓信息;

基于所述轮廓信息确定出所述待检测工件的特征信息。

进一步的,通过以下步骤确定出所述待检测工件的参考移动轨迹:

将所述待检测工件的特征信息与特征数据库中预先存储的多个参考特征信息进行匹配,确定出与所述待检测工件的特征信息相匹配的目标特征信息;

将与所述目标特征信息匹配的参考移动轨迹,确定出所述待检测工件的参考移动轨迹。

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