[发明专利]气体溶解液供给装置及由气体溶解液供给装置执行的方法在审
| 申请号： | 202111158227.5 | 申请日： | 2021-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN114272776A | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 小泽卓;荒木裕二;渡边敏史;中川洋一;木村梨沙;徐涛 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B01F23/20 | 分类号： | B01F23/20;B01F25/30 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 张丽颖 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够实现气体溶解液的高浓度化，能够抑制气体溶解液的送出压力的变动的气体溶解液供给装置及由气体溶解液供给装置执行的方法。气体溶解液供给装置(1)具备：积存气体溶解液的第一气液分离器(8)、设置于第一气液分离器的后段并积存向使用点供给的气体溶解液的第二气液分离器(16)、设置于第一气液分离器和第二气液分离器之间的中间线路(17)、设置于中间线路并使从第一气液分离器向第二气液分离器供给的气体溶解液的压力上升的升压泵(18)、供给成为气体溶解液的原料的气体的气体供给线路(2)、设置于中间线路并使从气体供给线路供给的气体溶解于从第一气液分离器供给的气体溶解液的气体溶解部(20)。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 溶解 供给 装置 执行 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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