[发明专利]气体溶解液供给装置及由气体溶解液供给装置执行的方法

权利要求书

1.一种气体溶解液供给装置，其特征在于，具备：

第一气液分离器，该第一气液分离器积存气体溶解液；

第二气液分离器，该第二气液分离器设置于所述第一气液分离器的后段，并积存向使用点供给的气体溶解液；

中间线路，该中间线路设置于所述第一气液分离器与所述第二气液分离器之间；

升压泵，该升压泵设置于所述中间线路，并使从所述第一气液分离器向所述第二气液分离器供给的气体溶解液的压力上升；

气体供给线路，该气体供给线路供给成为所述气体溶解液的原料的气体；以及

气体溶解部，该气体溶解部设置于所述中间线路，并使从所述气体供给线路供给的气体溶解于从所述第一气液分离器供给的气体溶解液。

2.根据权利要求1所述的气体溶解液供给装置，其特征在于，

在所述第一气液分离器设置有循环供给线路，该循环供给线路使在使用点未使用的气体溶解液循环并供给该气体溶解液。

3.根据权利要求1所述的气体溶解液供给装置，其特征在于，

在所述第一气液分离器设置有液体供给线路，该液体供给线路供给成为所述气体溶解液的原料的液体，

在所述液体供给线路设置有第二气体溶解部，该第二气体溶解部使从所述第二气液分离器排出的未溶解的剩余气体溶解于成为所述气体溶解液的原料的液体。

4.根据权利要求1所述的气体溶解液供给装置，其特征在于，具备：

第一阀，该第一阀设置于供给成为所述气体溶解液的原料的液体的液体供给线路；

第二阀，该第二阀设置于向使用点供给所述气体溶解液的气体溶解液供给线路；

第三阀，该第三阀设置于从所述第一气液分离器向排气口的排气线路；

第四阀，该第四阀设置于排水线路，该排水线路从所述排气线路分支设置；以及

控制部，该控制部进行所述第一阀、所述第二阀、所述第三阀、所述第四阀的开闭控制，

在向所述使用点供给所述气体溶解液的情况下，所述控制部进行打开所述第一阀、所述第二阀以及所述第三阀并关闭所述第四阀的控制，

在清洗所述第一气液分离器和所述第二气液分离器的情况下，所述控制部进行关闭所述第二阀和所述第三阀并打开所述第一阀和所述第四阀的控制。

5.一种由气体溶解液供给装置执行的方法，其特征在于，

所述气体溶解液供给装置具备：

第一气液分离器，该第一气液分离器积存气体溶解液；

第二气液分离器，该第二气液分离器设置于所述第一气液分离器的后段，并积存向使用点供给的气体溶解液；

中间线路，该中间线路设置于所述第一气液分离器与所述第二气液分离器之间；以及

升压泵，该升压泵设置于所述中间线路，并使从所述第一气液分离器向所述第二气液分离器供给的气体溶解液的压力上升，

所述方法包含：

向所述中间线路供给成为所述气体溶解液的原料的气体的步骤；以及

使被供给的所述气体溶解于从所述第一气液分离器供给的气体溶解液的步骤。

6.根据权利要求5所述的由气体溶解液供给装置执行的方法，其特征在于，

所述气体溶解液供给装置具备：

第一阀，该第一阀设置于供给成为所述气体溶解液的原料的液体的液体供给线路；

第二阀，该第二阀设置于向使用点供给所述气体溶解液的气体溶解液供给线路；

第三阀，该第三阀设置于从所述第一气液分离器向排气口的排气线路；以及

第四阀，该第四阀设置于排水线路，该排水线路从所述排气线路分支设置，

在所述方法中，

在向所述使用点供给所述气体溶解液的情况下，打开所述第一阀、所述第二阀以及所述第三阀并关闭所述第四阀，

在清洗所述第一气液分离器和所述第二气液分离器的情况下，关闭所述第二阀和所述第三阀并打开所述第一阀和所述第四阀。