[发明专利]半导体工艺设备数据采集系统和方法在审
| 申请号： | 202111129593.8 | 申请日： | 2021-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN113821005A | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 柴加加;马宝林 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;H04L29/06 |
| 代理公司： | 深圳市嘉勤知识产权代理有限公司 44651 | 代理人： | 汤金燕 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开一种半导体工艺设备数据采集系统和方法，其中，上述系统包括设备数据采集EDA服务器、EDA终端和安装有集簇设备控制程序CTC的半导体工艺设备；EDA终端基于用户的操作生成数据采集计划DCP，并将DCP和激活指令发送至EDA服务器；EDA服务器采用所述激活指令激活所述DCP，基于DCP确定其对应的半导体工艺设备和采集数据目标，并将采集数据目标发送至DCP对应的半导体工艺设备；半导体工艺设备中的CTC用于根据采集数据目标采集设备数据，将采集到的设备数据转换为比特字节流，并将比特字节流发送至EDA服务器。本申请能够提高设备数据采集过程中的数据传输速率，改善数据传输性能。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 工艺设备 数据 采集 系统 方法 | ||
【主权项】：
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