[发明专利]半导体工艺设备数据采集系统和方法

说明书

本申请公开一种半导体工艺设备数据采集系统和方法，其中，上述系统包括设备数据采集EDA服务器、EDA终端和安装有集簇设备控制程序CTC的半导体工艺设备；EDA终端基于用户的操作生成数据采集计划DCP，并将DCP和激活指令发送至EDA服务器；EDA服务器采用所述激活指令激活所述DCP，基于DCP确定其对应的半导体工艺设备和采集数据目标，并将采集数据目标发送至DCP对应的半导体工艺设备；半导体工艺设备中的CTC用于根据采集数据目标采集设备数据，将采集到的设备数据转换为比特字节流，并将比特字节流发送至EDA服务器。本申请能够提高设备数据采集过程中的数据传输速率，改善数据传输性能。

技术领域

本申请涉及半导体装备技术领域，具体涉及一种半导体工艺设备数据采集系统和方法。

背景技术

基于SEMI InterfaceA标准的EDA(Equipment Data Acquisition，设备数据采集)项目采用的是WCF(Windows Communication Foundation，Windows通信基础)通信，绑定协议使用的是NetTCPBinding协议(通过TCP协议进行通信)。WCF(Windows CommunicationFoundation，Windows通信基础)是基于Windows平台下开发和部署服务的SDK，是由微软开发的一系列支持数据通信的应用程序框架，整合了原有的windows通讯的.net Remoting、WebService、Socket的机制，并融合有HTTP和FTP的相关技术。其统一的程序开发模型，几乎有.NET Framework提供的所有的通信方法，对于数据通信提供了最基本最有弹性的支持，是Windows平台上开发分布式应用最佳的实践方式。

EDA项目可以包括设备数据采集EDA服务器、EDA终端和至少一个半导体工艺设备，各个半导体工艺设备上均安装有集簇设备控制程序CTC，其中EDA服务器从半导体工艺设备采集所需数据时，通常采用对象传递数据，例如：如果有一个字符串String类型的数据值为“我是最新String类型的数据”需要从半导体工艺设备中的CTC传输至EDA服务器，那么CTC将直接将String类型的数据值反馈至EDA服务器，EDA服务器直接接收到String类型的数据。这一数据采集过程容易导致数据传输效率低。

发明内容

鉴于此，本申请提供一种半导体工艺设备数据采集系统和方法，以解决采用对象传送容易导致数据传输效率低的问题。

本申请提供一种半导体工艺设备数据采集系统，包括设备数据采集EDA服务器、至少一个EDA终端和至少一个半导体工艺设备，所述至少一个半导体工艺设备上均安装有集簇设备控制程序CTC；

所述EDA终端用于基于用户的操作生成数据采集计划DCP，并将所述DCP和所述DCP对应的激活指令发送至所述EDA服务器；

所述EDA服务器用于采用所述激活指令激活所述DCP，基于所述DCP确定其对应的半导体工艺设备和采集数据目标，并将所述采集数据目标发送至所述DCP对应的半导体工艺设备；

所述半导体工艺设备中的所述CTC用于根据所述采集数据目标采集设备数据，将采集到的所述设备数据转换为比特字节流，并将所述比特字节流发送至所述EDA服务器。

可选地，所述CTC用于将所述设备数据组织为数据对象，再基于预设的数据转换动态库将所述数据对象转换为所述比特字节流。

可选地，所述EDA服务器还用于基于预设的所述数据转换动态库将比特字节流转换为所述数据对象。

可选地，所述数据转换动态库包括对象数据类型和对象数据转换类；

所述对象数据类型枚举有所述数据对象的数据类型；

所述对象数据转换类可将各个数据类型的数据对象转换为比特字节流以及将比特字节流转换为不同数据类型的数据对象的数据转换方法和多个用于所述数据转换方法中的属性字段。