[发明专利]MEMS陀螺仪在审
| 申请号： | 202111088562.2 | 申请日： | 2021-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN113804171A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 凌方舟;丁希聪;刘尧;蒋乐跃 | 申请（专利权）人： | 美新半导体（天津）有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5755 | 分类号： | G01C19/5755 |
| 代理公司： | 苏州简理知识产权代理有限公司 32371 | 代理人： | 庞聪雅 |
| 地址： | 300450 天津市自贸试验区（*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种MEMS陀螺仪，其包括：驱动质量块；驱动电极；检测质量块；位于所述检测质量块下方的检测电极；耦接于所述驱动质量块上的第一补偿梁；耦接于所述第一补偿梁和所述检测质量块之间的第二补偿梁；耦接于所述第一补偿梁上的至少一对补偿质量块，其中每对补偿质量块中的第一补偿质量块位于所述第一补偿梁的一侧，每对补偿质量块中的第二补偿质量块位于所述第一补偿梁的另一侧；位于所述至少一对补偿质量块下方的至少一对补偿电极，通过在所述至少一对补偿电极上施加电信号，以进行误差补偿。 | ||
| 搜索关键词： | mems 陀螺仪 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于美新半导体（天津）有限公司，未经美新半导体（天津）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111088562.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
