[发明专利]MEMS陀螺仪

说明书

本发明提供一种MEMS陀螺仪，其包括：驱动质量块；驱动电极；检测质量块；位于所述检测质量块下方的检测电极；耦接于所述驱动质量块上的第一补偿梁；耦接于所述第一补偿梁和所述检测质量块之间的第二补偿梁；耦接于所述第一补偿梁上的至少一对补偿质量块，其中每对补偿质量块中的第一补偿质量块位于所述第一补偿梁的一侧，每对补偿质量块中的第二补偿质量块位于所述第一补偿梁的另一侧；位于所述至少一对补偿质量块下方的至少一对补偿电极，通过在所述至少一对补偿电极上施加电信号，以进行误差补偿。

【技术领域】

本发明涉及微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)技术领域，尤其涉及一种MEMS陀螺仪。

【背景技术】

微微机陀螺仪可通过检测科里奥利力的大小来实现对角速度的检测。在驱动力作用下质量块沿着驱动方向发生谐振运动，当敏感到角速度输入时，由于科氏效应，质量块会沿着检测方向发生微小的位移。但由于加工误差的存在，使得质量块驱动方向的位移会被耦合进检测方向的位移，导致误差信号产生。该误差信号的相位与驱动位移相同，与科里奥利力信号相差九十度，因此被称作为正交误差。该正交误差严重影响检测精度，现有的方法无法完全消除。

因此，亟需提出一种新的技术方案来解决上述问题。

【发明内容】

本发明的目的之一在于提供一种MEMS陀螺仪，其可以对误差进行很好的补偿，提高了产品生产良率。

根据本发明的一个方面，本发明提供一种MEMS陀螺仪，其包括：驱动质量块，其内部定义形成有一空间；驱动电极，其驱动所述驱动质量块做往复运动；位于所述空间中的检测质量块；位于所述检测质量块下方的检测电极，其与所述检测质量块形成一检测电容，通过检测该所述检测电容的变化确定所述检测质量块的运动；耦接于所述驱动质量块上的第一补偿梁；耦接于所述第一补偿梁和所述检测质量块之间的第二补偿梁，其中所述检测质量块在所述驱动质量块的带动下与所述驱动质量块一起做往复运动；耦接于所述第一补偿梁上的至少一对补偿质量块，其中每对补偿质量块中的第一补偿质量块位于所述第一补偿梁的一侧，每对补偿质量块中的第二补偿质量块位于所述第一补偿梁的另一侧；位于所述至少一对补偿质量块下方的至少一对补偿电极，每对补偿电极包括位于对应的一对补偿质量块中的第一补偿质量块下方的第一补偿电极，以及位于对应的一对补偿质量块中的第二补偿质量块下方的第二补偿电极，通过在所述至少一对补偿电极的第一补偿电极和/或第二补偿电极上施加电信号，以进行误差补偿。

与现有技术相比，本发明中的MEMS陀螺仪，通过在所述至少一对补偿电极的第一补偿电极和/或第二补偿电极上施加电信号，能够通过第一补偿梁和第二补偿梁给所述检测质量块提供误差补偿力，以进行误差补偿。

【附图说明】

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中：

图1是本发明中陀螺仪在一个实施例中的整体结构的示意图；

图2是本发明中的陀螺仪沿AA线的剖视结构侧视示意图，此状态下无正交误差；

图3是本发明中的陀螺仪沿AA线的剖视结构侧视示意图，此状态下存在正交误差；

图4是本发明中的陀螺仪沿AA线的剖视结构侧视示意图，此状态下存在正交误差且执行了正交误差补偿；

图5是本发明中的陀螺仪沿AA线的剖视结构侧视示意图，此状态下正交误差引起整体结构倾斜运动；

图6是本发明中的陀螺仪沿AA线的剖视结构侧视示意图，此状态下正交误差引起整体结构倾斜运动且执行了正交误差补偿。

【具体实施方式】