[发明专利]MEMS加速度计及其信号处理方法有效
| 申请号： | 202110971546.1 | 申请日： | 2021-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN113419081B | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 李森科·伊戈尔·叶夫根耶维奇;徐宝;徐元;吴刚 | 申请（专利权）人： | 杭州麦新敏微科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 杭州创智卓英知识产权代理事务所(普通合伙) 33324 | 代理人： | 张迪 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市滨江区浦*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及MEMS加速度计，包括：第一衬底；检验质量块，弹性连接在所述第一衬底上，且能与所述第一衬底产生相对位移，所述检验质量块包括相对的第一侧、第三侧，以及相对的第二侧、第四侧，所述第一侧、所述第二侧、所述第三侧和所述第四侧均设有两个移动梳齿；固定梳，固定设置于所述第一衬底上，所述固定梳包括固定梳齿和框架，所述固定梳齿与所述移动梳齿一一对应设置；每个所述固定梳齿和最近的所述移动梳齿组成感测梳，所述感测梳的梳齿方向均垂直于所述加速度计的运动方向。本发明能够在不改变传感器设计和信号处理方案的情况下，实时选择四个加速度量程之一的信号，测量精度高、制造成本低。 | ||
| 搜索关键词： | mems 加速度计 及其 信号 处理 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州麦新敏微科技有限责任公司，未经杭州麦新敏微科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110971546.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种注汽锅炉冷凝换热装置
- 下一篇：换电站
