[发明专利]薄膜晶体管、其制作方法及显示面板有效
| 申请号： | 202110966612.6 | 申请日： | 2021-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN113745342B | 公开（公告）日： | 2023-09-26 |
| 发明（设计）人： | 杨树圳 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/34 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 马广旭 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜晶体管、其制作方法及显示面板。所述薄膜晶体管中通过漏极与有源层的肖特基接触，增大该区域的电阻，从而抑制电流逆向从漏极经过金属层、有源层传输至源极，而当阈值电压为负时，由于肖特基接触的存在，可以抑制、减小源极通过有源层流向漏极的漏电流，提升薄膜晶体管的电学稳定性，能够更长时间地稳定工作。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 制作方法 显示 面板 | ||
【主权项】：
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