[发明专利]金属板、沉积掩模及其制造方法在审
| 申请号： | 202110909540.1 | 申请日： | 2018-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN113622004A | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 白智钦;金润泰 | 申请（专利权）人： | LG伊诺特有限公司 |
| 主分类号： | C25D5/12 | 分类号： | C25D5/12;C25D5/50;C25D7/00;H01L51/00;H01L51/56;C22C38/08;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 李琳;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据实施例的用于制造沉积掩模的金属板是厚度为30μm以下且包含镍(Ni)和铁(Fe)的合金的多层金属板，该金属板包括：第一外部部分，从金属板的一个表面占据与金属板总厚度的20％以下相对应的区域；第二外部部分，从与一个表面相对的另一个表面占据与总厚度的20％以下相对应的区域；以及除第一外部部分和第二外部部分之外的中央部分，其中，第一外部部分和第二外部部分的镍含量分别大于中央部分的镍含量。用于制造沉积掩模的多层金属板是包含镍(Ni)和铁(Fe)的合金的多层金属板，该多层金属板的制造方法包括以下步骤：形成镍镀层；在镍镀层上形成铁镀层；形成交替且重复布置镍镀层和铁镀层的多层镀板；在300℃以上的温度下对多层镀板进行热处理。 | ||
| 搜索关键词： | 金属板 沉积 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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