[发明专利]缺陷分类装置、方法以及程序在审
| 申请号： | 202110907048.0 | 申请日： | 2021-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN115131596A | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 平井隆介;浅香沙织;坂田幸辰;谷沢昭行 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | G06V10/764 | 分类号： | G06V10/764;G06T7/00;G06T7/70;G06N20/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 程晨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的实施方式涉及缺陷分类装置、方法以及程序。提供能够支持高精度的缺陷检查的缺陷分类装置、方法以及程序。缺陷分类装置包括第1获取部、第2获取部、变换部、计算部、检测部以及分类部。第1获取部获取与第1检查对象有关的第1设计图像，该第1设计图像是基于利用设计软件制作的设计数据的图像。第2获取部获取第1摄影图像，该第1摄影图像是对基于设计数据生成的第1检查对象进行摄影而得到的。变换部将第1设计图像变换为使用对没有缺陷的第2检查对象进行摄影得到的第2摄影图像表达的参照图像。计算部计算参照图像的置信度。检测部比较参照图像和第1摄影图像，检测第1检查对象中的缺陷。分类部基于置信度对缺陷进行分类。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 分类 装置 方法 以及 程序 | ||
【主权项】：
暂无信息
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