[发明专利]缺陷分类装置、方法以及程序

权利要求书

1.一种缺陷分类装置，具备：

第1获取部，获取与第1检查对象有关的第1设计图像，该第1设计图像是基于利用设计软件制作的设计数据的图像；

第2获取部，获取第1摄影图像，该第1摄影图像是对基于所述设计数据生成的所述第1检查对象进行摄影而得到的；

变换部，将所述第1设计图像变换为使用第2摄影图像表达的参照图像，该第2摄影图像是对没有缺陷的第2检查对象进行摄影而得到的；

计算部，计算所述参照图像的置信度；

检测部，比较所述参照图像和所述第1摄影图像，检测所述第1检查对象中的缺陷；以及

分类部，基于所述置信度对所述缺陷进行分类。

2.根据权利要求1所述的缺陷分类装置，其中，

作为所述第2摄影图像的部分图像的第2摄影补丁图像与作为基于与所述第2检查对象有关的设计数据的第2设计图像的部分图像的第2设计补丁图像被关联起来，

所述变换部使与和作为从所述第1设计图像切取一部分得到的部分图像的第1设计补丁图像类似的第2设计补丁图像关联起来的第2摄影补丁图像与所述第1设计补丁图像的切取位置对应地粘贴，从而生成所述参照图像，

所述第1设计补丁图像与所述第2设计补丁图像的类似度越高，则所述计算部将所述切取位置的所述置信度设定得越高。

3.根据权利要求2所述的缺陷分类装置，其中，

所述第1设计补丁图像与所述第2设计补丁图像的差分越小，则所述类似度被设定得越高。

4.根据权利要求2所述的缺陷分类装置，其中，

所述第1设计补丁图像与所述第2设计补丁图像的标准化互相关的值越大，则所述类似度被设定得越高。

5.根据权利要求2至4中的任意一项所述的缺陷分类装置，其中，

所述计算部在多个第2摄影补丁图像重叠的像素位置处，计算与所述第1设计补丁图像和所述多个第2设计补丁图像中的每一个第2设计补丁图像的类似度有关的统计量作为所述像素位置的置信度。

6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的缺陷分类装置，其中，

所述检测部比较所述参照图像和所述第1摄影图像，将差分为阈值以上的像素的区域检测为所述缺陷，获取所述缺陷的位置和与所述缺陷的位置对应的所述参照图像的置信度。

7.根据权利要求6所述的缺陷分类装置，其中，

所述检测部基于将所述参照图像和所述第1摄影图像分别进行标准化而得到的图像的像素值来检测所述缺陷的位置。

8.根据权利要求1至7中的任意一项所述的缺陷分类装置，其中，

所述分类部对以输入具有缺陷的图像和对应的置信度并输出缺陷的种类的方式学习的已学习模型输入所述第1摄影图像和与所述缺陷的位置对应的置信度，从而对与所述第1摄影图像有关的所述缺陷的种类进行分类。

9.根据权利要求1至8中的任意一项所述的缺陷分类装置，其中，

在与所述缺陷的位置对应的置信度小于阈值的情况下，所述分类部将所述缺陷分类为伪缺陷。

10.根据权利要求1至9中的任意一项所述的缺陷分类装置，其中，

所述缺陷分类装置还具备显示部，该显示部在所述第1摄影图像中显示所述缺陷的位置和所述缺陷的种类。

11.一种缺陷分类方法，其中，

获取与第1检查对象有关的第1设计图像，该第1设计图像是基于利用设计软件制作的设计数据的图像，

获取第1摄影图像，该第1摄影图像是对基于所述设计数据生成的所述第1检查对象进行摄影而得到的，

将所述第1设计图像变换为使用第2摄影图像表达的参照图像，该第2摄影图像是对没有缺陷的第2检查对象进行摄影而得到的，

计算所述参照图像的置信度，

比较所述参照图像和所述第1摄影图像，检测所述第1检查对象中的缺陷，以及

基于所述置信度对所述缺陷进行分类。

12.一种信息记录介质，储存缺陷分类程序，该缺陷分类程序用于使计算机作为如下单元发挥功能：

第1获取单元，获取与第1检查对象有关的第1设计图像，该第1设计图像是基于利用设计软件制作的设计数据的图像；

第2获取单元，获取第1摄影图像，该第1摄影图像是对基于所述设计数据生成的所述第1检查对象进行摄影而得到的；

变换单元，将所述第1设计图像变换为使用第2摄影图像表达的参照图像，该第2摄影图像是对没有缺陷的第2检查对象进行摄影而得到的；

计算单元，计算所述参照图像的置信度；

检测单元，比较所述参照图像和所述第1摄影图像，检测所述第1检查对象中的缺陷；以及

分类单元，基于所述置信度对所述缺陷进行分类。