[发明专利]化学气相沉积高品质金刚石的制备装置及制备方法

摘要

本发明为一种化学气相沉积高品质金刚石的制备装置及制备方法，装置由H2容器，氢气提纯装置，CO2容器，低温除水装置或干燥装置，低温除H2S装置，低温干冰制备装置，除杂真空泵，CH4反应装置，二次除水装置，CVD金刚石合成装置组成。制备时先分别制备高纯CO2和H2，然后反应形成H2、H2O、CH4混合气体，接着二次除水，获取H2、CH4混合气体，最后将该气通入CVD金刚石合成装置沉积金刚石即可。本发明装置及方法能够有效降低原料气中的杂质元素N、S等，从而实现高品质金刚石的生产。