[发明专利]一种组合物、剥离液及其在剥离光刻胶或光刻胶残余物中的应用和剥离方法有效
| 申请号： | 202110873777.9 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113589662B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 侯军;任浩楠 | 申请（专利权）人： | 浙江奥首材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京元周律知识产权代理有限公司 11540 | 代理人： | 毛薇 |
| 地址： | 324012*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种组合物、及其剥离液和在其在剥离光刻胶或光刻胶残余物中的应用和剥离方法，组合物包含水溶性非质子极性有机溶剂、有机胺化合物、缓蚀剂、二醇醚化合物和润湿剂；缓蚀剂含有式I所示化合物中的至少一种和式II所示化合物中的至少一种； |
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| 搜索关键词： | 一种 组合 剥离 及其 光刻 残余物 中的 应用 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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