[发明专利]一种利用氮气吹扫减少颗粒的晶圆传输外接装置在审
| 申请号： | 202110871942.7 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113714203A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 陈兆荣 | 申请（专利权）人： | 赛林斯弥（无锡）电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 湖南楚墨知识产权代理有限公司 43268 | 代理人： | 王磊 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市锡山区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用氮气吹扫减少颗粒的晶圆传输外接装置，包括装置主体、晶圆、夹具与连接件，所述连接件一侧设置有连接杆，所述连接杆底端设置有气缸，所述气缸底端设置有气缸活塞，所述气缸活塞底端设置有固定块，所述固定块底端外侧设置有伺服电机，所述伺服电机顶端设置有第二转动杆，所述第二转动杆处于固定块内壁外侧开设有限位槽，所述第二转动杆中部表面套设有第二轴承；通过设计了气缸、气缸活塞、氮气进气管、伺服电机、转动环、环形管、喷气管，当晶圆从工艺箱中取出进行传送时，氮气可以对晶圆表面进行全方面的吹扫，使得吹扫的更加彻底，保证了空气中的颗粒数不会对晶圆加工后的质量与可靠性造成影响，结构简单，实用性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 氮气 减少 颗粒 传输 外接 装置 | ||
【主权项】：
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