[发明专利]一种利用氮气吹扫减少颗粒的晶圆传输外接装置在审
| 申请号： | 202110871942.7 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113714203A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 陈兆荣 | 申请（专利权）人： | 赛林斯弥（无锡）电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 湖南楚墨知识产权代理有限公司 43268 | 代理人： | 王磊 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市锡山区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 利用 氮气 减少 颗粒 传输 外接 装置 | ||
1.一种利用氮气吹扫减少颗粒的晶圆传输外接装置，包括装置主体(1)、晶圆(2)、夹具(3)与连接件(4)，其特征在于：所述连接件(4)一侧设置有连接杆(5)，所述连接杆(5)底端设置有气缸(6)，所述气缸(6)底端设置有气缸活塞(7)，所述气缸活塞(7)底端设置有固定块(9)，所述固定块(9)底端外侧设置有伺服电机(10)，所述伺服电机(10)顶端设置有第二转动杆(19)，所述第二转动杆(19)处于固定块(9)内壁外侧开设有限位槽(15)，所述第二转动杆(19)中部表面套设有第二轴承(20)，且所述第二转动杆(19)表面顶端套设有第二锥齿轮(18)，所述第二锥齿轮(18)顶端一侧设置有第一锥齿轮(17)，所述第一锥齿轮(17)内侧设置有第一转动杆(14)，所述第一转动杆(14)中部表面套设有第一轴承(16)，且所述第一转动杆(14)一端设置有转动环(11)，所述转动环(11)一侧表面设置有环形管(12)，所述环形管(12)一侧设置有喷气管(13)，且所述环形管(12)顶端设置有氮气进气管(8)。
2.根据权利要求1所述的一种利用氮气吹扫减少颗粒的晶圆传输外接装置，其特征在于：所述第一锥齿轮(17)与第二锥齿轮(18)为啮合连接，且所述第一锥齿轮(17)与第二锥齿轮(18)的规格相同。
3.根据权利要求1所述的一种利用氮气吹扫减少颗粒的晶圆传输外接装置，其特征在于：所述第一轴承(16)内圈固定连接第一转动杆(14)表面，且所述第一轴承(16)外圈固定连接限位槽(15)内侧表面。
4.根据权利要求1所述的一种利用氮气吹扫减少颗粒的晶圆传输外接装置，其特征在于：所述第二轴承(20)内圈固定连接第二转动杆(19)表面，且所述第二轴承(20)外圈固定连接限位槽(15)内侧表面。
5.根据权利要求1所述的一种利用氮气吹扫减少颗粒的晶圆传输外接装置，其特征在于：所述环形管(12)与氮气进气管(8)相连通，且所述环形管(12)同时与喷气管(13)相连通。
6.根据权利要求1所述的一种利用氮气吹扫减少颗粒的晶圆传输外接装置，其特征在于：所述喷气管(13)的数量共设置有三个，且三个所述喷气管(13)呈四十五度角向内侧倾斜。
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