[发明专利]一种MEMS压力传感器在审
| 申请号： | 202110870028.0 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113447167A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 宋宗波;沈超群 | 申请（专利权）人： | 武汉奥特多电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 湖北天领艾匹律师事务所 42252 | 代理人： | 胡振宇 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市经济*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS压力传感器，包括陶瓷基台、MEMS压力芯片以及保护罩；所述陶瓷基台内设置有陶瓷电路板组，所述MEMS压力芯片设置于所述陶瓷基台上并与所述陶瓷电路板组电性连接，所述保护罩安装于所述陶瓷基台上并包裹所述MEMS压力芯片，所述陶瓷基台上开设有第一通孔，所述MEMS压力芯片上开设有第二通孔，所述第一通孔与第二通孔连通，所述陶瓷基台的边缘设有凸缘。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 压力传感器 | ||
【主权项】：
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