[发明专利]一种钽掺杂的二氧化钒薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 202110862598.5 | 申请日： | 2021-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN113636597B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 赵修建;李彬;田守勤 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | C01G31/02 | 分类号： | C01G31/02 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 唐万荣 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种钽掺杂的二氧化钒薄膜的制备方法，包括以下步骤：1)将五氧化二钒、还原剂溶于有机溶剂中，反应得到前驱体溶液；2)将所述前驱体溶液与可溶性的钽源混合，并使钽源分散于所述前驱体溶液中，得到镀膜液；3)将所述涂膜液在基片上制膜，干燥，再进行热处理，得到钽掺杂的二氧化钒薄膜。本发明制备方法简单，原料简单，对设备要求低，因此生产成本低；本发明通过控制加入前驱体中钽元素的含量，即可得到预期钽掺杂浓度的VO |
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| 搜索关键词： | 一种 掺杂 氧化 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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