[发明专利]一种钽掺杂的二氧化钒薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 202110862598.5 | 申请日： | 2021-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN113636597B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 赵修建;李彬;田守勤 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | C01G31/02 | 分类号： | C01G31/02 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 唐万荣 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 掺杂 氧化 薄膜 制备 方法 | ||
1.一种钽掺杂的二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)将五氧化二钒、还原剂溶于有机溶剂中，反应得到前驱体溶液；
2)将所述前驱体溶液与可溶性的钽源混合，并使钽源分散于所述前驱体溶液中，得到镀膜液；
3)将所述镀膜液在基片上制膜，干燥，再进行热处理，得到钽掺杂的二氧化钒薄膜；
其中，步骤(2)中的可溶性的钽源是指所述钽源可溶于步骤(1)的所述有机溶剂中。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所述有机溶剂为乙醇。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所述还原剂为二水合草酸。
4.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所述五氧化二钒与还原剂的摩尔比为1：3-4。
5.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，反应条件为：加热回流，反应8-12小时。
6.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，前驱体溶液中钒的浓度为0.1-1mol/L。
7.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)中，所述钽源为乙醇钽或者氯化钽。
8.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)的镀膜液中，钽与钒的摩尔量之比为0.5-5：100。
9.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(3)中，通过旋涂法制膜。
10.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(3)中，在负压条件下进行热处理，所述热处理的温度为450-600℃，时间为30-90min。
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