[发明专利]一种防眩光低反射膜及其制作方法在审
| 申请号： | 202110791096.8 | 申请日： | 2021-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN113699496A | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 周伟杰 | 申请（专利权）人： | 信利光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/10;C23C14/02;G02B1/10;G02B1/11 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人： | 王欣 |
| 地址： | 516600 广东省汕*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种防眩光低反射膜及其制作方法，制作方法包括步骤：在衬底上喷涂防眩光涂层；将衬底置于预固化设备中，对防眩光涂层进行加热预固化；使衬底进入磁控溅射设备的真空腔体中，调整磁控溅射设备的高低折射率靶材的溅射功率和ICP的离化功率，以空镀方式对防眩光涂层进行第一次固化；在磁控溅射设备中进行磁控溅射镀膜，使在防眩光涂层上形成减反射膜层，且使防眩光涂层进行第二次固化。本发明中，省去了将防眩光涂层置入固化炉中高温固化的工艺流程，有效缩短了防眩光低反射膜的制作工艺流程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 眩光 反射 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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