[发明专利]一种防眩光低反射膜及其制作方法在审

专利信息
申请号: 202110791096.8 申请日: 2021-07-13
公开(公告)号: CN113699496A 公开(公告)日: 2021-11-26
发明(设计)人: 周伟杰 申请(专利权)人: 信利光电股份有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/10;C23C14/02;G02B1/10;G02B1/11
代理公司: 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 代理人: 王欣
地址: 516600 广东省汕*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 眩光 反射 及其 制作方法
【说明书】:

发明公开一种防眩光低反射膜及其制作方法,制作方法包括步骤:在衬底上喷涂防眩光涂层;将衬底置于预固化设备中,对防眩光涂层进行加热预固化;使衬底进入磁控溅射设备的真空腔体中,调整磁控溅射设备的高低折射率靶材的溅射功率和ICP的离化功率,以空镀方式对防眩光涂层进行第一次固化;在磁控溅射设备中进行磁控溅射镀膜,使在防眩光涂层上形成减反射膜层,且使防眩光涂层进行第二次固化。本发明中,省去了将防眩光涂层置入固化炉中高温固化的工艺流程,有效缩短了防眩光低反射膜的制作工艺流程。

技术领域

本发明涉及防眩光膜制作技术领域,尤其涉及一种防眩光低反射膜及其制作方法。

背景技术

眩光是一种视觉状态,是指视野中由于不适宜亮度分布或在空间、时间上存在极端的亮度对比,以致引起视觉不舒适和降低物体可见度的视觉条件。视野内产生人眼无法适应之光亮感觉,可能引起厌恶、不舒服等情况,且是引起视觉疲劳的重要原因之一。

在汽车(或电动车等)的例如前挡风玻璃等上尤其需要进行防眩光处理。同时,还需要进行减反射处理,即减少或消除前挡风玻璃表面的反射光,从而增加其透光量,减少或消除其的杂散光。

目前,制作防眩光低反射膜时,先采用喷涂方式将防眩光膜涂在衬底上,然后对衬底进行预热处理,然后再进行高温固化,待固化完毕后,采用磁控溅射工艺做减反射膜,最终实现防眩光和减反射效果。但是,通过上述方法制作防眩光低反射膜时,工艺流程较多。

发明内容

本发明公开一种防眩光低反射膜及其制作方法,用于解决现有技术中,制作工艺流程较多的问题。

为了解决上述问题,本发明采用下述技术方案:

提供一种防眩光低反射膜的制作方法,包括步骤:

步骤S10,在衬底上喷涂防眩光涂层;

步骤S20,将衬底置于预固化设备中,对所述防眩光涂层进行加热预固化;

步骤S30,使衬底进入磁控溅射设备的真空腔体中,调整所述磁控溅射设备的高低折射率靶材的溅射功率和ICP的离化功率,以空镀方式对所述防眩光涂层进行第一次固化;

步骤S40,在所述磁控溅射设备中进行磁控溅射镀膜,使在所述防眩光涂层上形成减反射膜层,且使所述防眩光涂层进行第二次固化。

可选的,所述高低折射率靶材的溅射功率和所述ICP的离化功率在磁控溅射镀膜时与空镀时相同。

可选的,所述防眩光涂层在加热预固化时的温度与空镀时的温度差大于40℃。

可选的,所述防眩光涂层在加热预固化时的温度不高于80℃,而在空镀时的温度不低于100℃。

可选的,所述防眩光涂层在加热预固化时的温度为60-80℃。

可选的,所述防眩光涂层在空镀时的温度为100-150℃。

可选的,加热预固化时所用的时间小于空镀时所用的时间和磁控溅射镀膜时所用的时间。

可选的,加热预固化时所用的时间为6-8min。

可选的,空镀时所用的时间为30-45min。

可选的,磁控溅射镀膜时所用的时间为30-45min。

可选的,所述高低折射率靶材的溅功率大于或等于12KW,所述ICP的离化功率大于4KW。

可选的,所述防眩光涂层的材质为氧化硅。

还提供一种根据上述中任一项所述的制作方法制作的防眩光低反射膜,包括:

衬底;

防眩光涂层,所述防眩光涂层喷涂在所述衬底上;

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