[发明专利]在石墨基材表面制备碳化钽涂层的方法及石墨器件

摘要

本发明提供了一种在石墨基材表面制备碳化钽涂层的方法及石墨器件。该制备方法包括：将石墨基体置于反应室；以氩气作为载气，携带气态五氯化钽与氢气通入所述反应室中；使气态五氯化钽、氢气及石墨基体表面的碳发生反应，以在石墨基体表面形成碳化钽涂层。本发明以五氯化钽作为钽源，石墨基体表面上的碳作为碳源，通过二者及氢气反应能够在石墨基体表面原位生成碳化钽涂层。通过该原位生长，这样碳化钽涂层与石墨基体的结合力更大、结合更紧密、不易脱落。与此同时，碳化钽涂层厚度更均匀、结构一致性更佳、致密性更佳。