[发明专利]一种微显示器及其制作方法在审
| 申请号： | 202110784264.0 | 申请日： | 2021-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN113488604A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 张成明;沈倩;周文斌;王卫卫;陈乔建;陈正;孙剑;高裕弟 | 申请（专利权）人： | 昆山梦显电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;H01L51/52 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 范坤坤 |
| 地址： | 215300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种硅基微显示器及其制作方法，微显示器的制作方法包括：提供一基板，其中，基板包括衬底、位于衬底一侧的电路层和位于电路层远离衬底一侧的金属膜层；在金属膜层远离电路层的一侧涂敷光刻胶形成第一光刻胶图案层；对第一光刻胶图案层进行挥化处理形成第二光刻胶图案层，其中，第二光刻胶图案层中的每一第二光刻胶图案的侧面与金属膜层的远离衬底的表面具有第一设定角度，第一设定角度在小于或等于第一设定阈值；刻蚀金属膜层形成第一电极层，其中第一电极层包括多个第一电极，每一第一电极的侧面与衬底靠近电路层的表面具有第二设定角度。本发明实施例提供的微显示器及其制作方法，能够防止阴极或阳极的断裂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显示器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
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