[发明专利]一种半导体封装控制系统的控制方法有效
申请号: | 202110766301.5 | 申请日: | 2021-07-07 |
公开(公告)号: | CN113472253B | 公开(公告)日: | 2022-03-25 |
发明(设计)人: | 田兴银;张勇;毛军 | 申请(专利权)人: | 东莞普莱信智能技术有限公司 |
主分类号: | H02P21/13 | 分类号: | H02P21/13;H02P23/12;H02P6/00;H02P7/02;H02P25/06 |
代理公司: | 北京精金石知识产权代理有限公司 11470 | 代理人: | 杨兰兰 |
地址: | 523443 广东省东莞市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种半导体封装控制系统的控制方法,属于半导体技术领域。本发明首先基于PID/PI/PI控制位置环、速度环和电流环,在此基础上以控制对象、电流环和速度环作为一个控制整体,在位置环加入加速度和速度前馈提高系统响应能力,保证“目标跟踪特性”性能,同时也在位置环加入特定的干扰观测器,提高内部干扰和外部干扰的抑制能力,实现“外扰抑制特性”性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 封装 控制系统 控制 方法 | ||
【主权项】:
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