[发明专利]一种真空镀膜设备用预热机构及预热系统在审
| 申请号： | 202110761950.6 | 申请日： | 2021-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN113463059A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 王光华 | 申请（专利权）人： | 赫得纳米科技（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 宿迁市永泰睿博知识产权代理事务所(普通合伙) 32264 | 代理人： | 刘慧 |
| 地址： | 215334 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空镀膜设备用预热机构，包括依次连接的热回收组件、蓄热组件和预热组件；所述热回收组件包括套接在真空镀膜机本体上的散热水套和连接所述散热水套的热回收水泵，所述热回收水泵的进水口通过进水管与散热水套连接，所述热回收水泵的出水口通过出水管与所述蓄热组件连接。本发明的有益之处在于：能够对真空镀膜机运转过程中产生的热量进行回收利用，使其能够用于待镀膜产品的预热，提高资源的利用率，降低热量的浪费；另外，还能通过蓄热组件对热量进行储蓄，进一步减少热量的损失，提高热量的利用效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 备用 预热 机构 系统 | ||
【主权项】：
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