[发明专利]一种真空镀膜设备用预热机构及预热系统在审
申请号: | 202110761950.6 | 申请日: | 2021-07-06 |
公开(公告)号: | CN113463059A | 公开(公告)日: | 2021-10-01 |
发明(设计)人: | 王光华 | 申请(专利权)人: | 赫得纳米科技(昆山)有限公司 |
主分类号: | C23C14/54 | 分类号: | C23C14/54;C23C14/24 |
代理公司: | 宿迁市永泰睿博知识产权代理事务所(普通合伙) 32264 | 代理人: | 刘慧 |
地址: | 215334 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 备用 预热 机构 系统 | ||
1.一种真空镀膜设备用预热机构,其特征在于,包括依次连接的热回收组件、蓄热组件和预热组件;
所述热回收组件包括套接在真空镀膜机本体上的散热水套和连接所述散热水套的热回收水泵,所述热回收水泵的进水口通过进水管与散热水套连接,所述热回收水泵的出水口通过出水管与所述蓄热组件连接;
所述蓄热组件包括蓄热水箱、第一换热盘管和预置在所述蓄热水箱中的蓄热液体,所述第一换热盘管的进液口连接在所述出水管上,所述第一换热盘管的出水口连接在所述进水管上,所述蓄热水箱的出水口通过管道连接有第二换热盘管;
所述预热组件包括预热腔、预热气体输入泵、预热气体输出泵、调压阀和加热喷头,所述预热气体输入泵的出气口连接在所述预热腔上,所述预热气体输出泵的进气口与所述预热腔连接,所述预热气体输出泵的出气口依次连接所述调压阀和所述加热喷头,所述加热喷头朝向待预热的笔记本壳体,所述第二换热盘管设置在所述预热腔中,所述第二换热盘管的出水口连接有循环泵,所述循环泵的出水口与所述蓄热水箱连接。
2.根据权利要求1中的真空镀膜设备用预热机构,其特征在于,所述预热腔中设置有用于辅助补热的加热设备,所述加热设备连接在所述预热腔的底部。
3.根据权利要求1中的真空镀膜设备用预热机构,其特征在于,所述预热腔内设置有用于检测所述预热腔中预热气体的温度传感器,所述温度传感器与所述加热设备信号连接。
4.根据权利要求1中的真空镀膜设备用预热机构,其特征在于,所述预热组件还包括分流管和喷气管,若干个所述喷气管连接在所述分流管上,所述分流管连接在所述调压阀上,所述加热喷头连接在所述喷气管上。
5.根据权利要求4中的真空镀膜设备用预热机构,其特征在于,所述预热组件还包括移动座和连接在所述移动座上的支撑架,所述加热喷头可转动的连接在所述支撑架上,所述喷气管为柔性耐热管道。
6.根据权利要求1中的真空镀膜设备用预热机构,其特征在于,所述支撑架上连接有转动组件,所述转动组件包括连接板和转动轴,所述转动轴可转动的连接在所述连接板上,所连接板上还连接有驱动所述转动轴转动的驱动电机,所述连接板连接在所述支撑架的侧面,所述转动轴上连接有安装套,所述加热喷头连接在所述安装套内。
7.一种预热系统,包括权利要求1-6任一项所述的真空镀膜设备用预热机构,其特征在于,还包括主控系统和驱动系统,所述主控系统与所述驱动系统信号连接,所述驱动系统包括移动控制单元、转动控制单元和加热控制单元,其中:
所述移动控制单元与移动座信号连接,用于在对待预热的笔记本壳体进行预热时,将加热喷头移动到预定位置;
所述转动控制单元与所述驱动电机信号连接,用于控制驱动电机转动;
所述加热控制单元与所述加热设备信号连接,温度传感器通过加热控制单元与加热设备信号连接,用于在预热腔中的预热气体的温度不足时,启动所述加热设备,对预热腔内的预热气体进行加热。
8.根据权利要求8所述的预热系统,其特征在于:所述加热控制单元包括设置模块和加热控制模块,所述设置模块与温度传感器信号连接,所述加热控制模块与所述设置模块信号连接,所述设置模块用于设置预热腔中预热气体温度的温度第一阈值和第二阈值,当温度传感器检测到预热腔中预热气体温度低于设定的阈值时,通过设置模块控制所述控制模块启动加热设备对预热腔中预热气体进行加热,当预热腔中预热气体的温度高于第二阈值时,通过设置模块控制所述控制模块关闭加热设备。
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