[发明专利]一种真空镀膜设备用预热机构及预热系统在审

专利信息
申请号: 202110761950.6 申请日: 2021-07-06
公开(公告)号: CN113463059A 公开(公告)日: 2021-10-01
发明(设计)人: 王光华 申请(专利权)人: 赫得纳米科技(昆山)有限公司
主分类号: C23C14/54 分类号: C23C14/54;C23C14/24
代理公司: 宿迁市永泰睿博知识产权代理事务所(普通合伙) 32264 代理人: 刘慧
地址: 215334 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空镀膜 备用 预热 机构 系统
【说明书】:

发明涉及一种真空镀膜设备用预热机构,包括依次连接的热回收组件、蓄热组件和预热组件;所述热回收组件包括套接在真空镀膜机本体上的散热水套和连接所述散热水套的热回收水泵,所述热回收水泵的进水口通过进水管与散热水套连接,所述热回收水泵的出水口通过出水管与所述蓄热组件连接。本发明的有益之处在于:能够对真空镀膜机运转过程中产生的热量进行回收利用,使其能够用于待镀膜产品的预热,提高资源的利用率,降低热量的浪费;另外,还能通过蓄热组件对热量进行储蓄,进一步减少热量的损失,提高热量的利用效率。

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域,尤其涉及一种真空镀膜设备用预热机构及预热系统。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法,真空镀膜机在工作的时候会产生大量的热量,需要及时有效的进行冷却,以确保其正常工作。一般真空镀膜机散热较多采用自然冷却,效果较差,冷却不及时,很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏。为了加快散热,现有技术中也存在水冷散热的结构,如CN201820942137.2公开的一种真空镀膜机腔体冷却装置,能够提高对真空镀膜机的散热效果,但是这种方式会将真空镀膜机产生的热量浪费,资源利用率低。

发明内容

为了克服现有技术中的至少部分缺陷,本发明实施例提供了一种真空镀膜设备用预热机构及预热系统,能够将真空镀膜机镀膜过程中产生的热量进行回收,并将其用于待镀膜的笔记本壳体的预热,降低能源消耗。

本发明提供的技术方案如下:一种真空镀膜设备用预热机构,包括依次连接的热回收组件、蓄热组件和预热组件;

所述热回收组件包括套接在真空镀膜机本体上的散热水套和连接所述散热水套的热回收水泵,所述热回收水泵的进水口通过进水管与散热水套连接,所述热回收水泵的出水口通过出水管与所述蓄热组件连接;

所述蓄热组件包括蓄热水箱、第一换热盘管和预置在所述蓄热水箱中的蓄热液体,所述第一换热盘管的进液口连接在所述出水管上,所述第一换热盘管的出水口连接在所述进水管上,所述蓄热水箱的出水口通过管道连接有第二换热盘管;

所述预热组件包括预热腔、预热气体输入泵、预热气体输出泵、调压阀和加热喷头,所述预热气体输入泵的出气口连接在所述预热腔上,所述预热气体输出泵的进气口与所述预热腔连接,所述预热气体输出泵的出气口依次连接所述调压阀和所述加热喷头,所述加热喷头朝向待预热的笔记本壳体,所述第二换热盘管设置在所述预热腔中,所述第二换热盘管的出水口连接有循环泵,所述循环泵的出水口与所述蓄热水箱连接。

进一步地,所述预热腔中设置有用于辅助补热的加热设备,所述加热设备连接在所述预热腔的底部。

进一步地,所述预热腔内设置有用于检测所述预热腔中预热气体的温度传感器,所述温度传感器与所述加热设备信号连接。

进一步地,所述预热组件还包括分流管和喷气管,若干个所述喷气管连接在所述分流管上,所述分流管连接在所述调压阀上,所述加热喷头连接在所述喷气管上。

进一步地,所述预热组件还包括移动座和连接在所述移动座上的支撑架,所述加热喷头可转动的连接在所述支撑架上,所述喷气管为柔性耐热管道。

进一步地,所述支撑架上连接有转动组件,所述转动组件包括连接板和转动轴,所述转动轴可转动的连接在所述连接板上,所连接板上还连接有驱动所述转动轴转动的驱动电机,所述连接板连接在所述支撑架的侧面,所述转动轴上连接有安装套,所述加热喷头连接在所述安装套内。

本发明还涉及一种预热系统,用于上述真空镀膜设备用预热机构,其特征在于,还包括主控系统和驱动系统,所述主控系统与所述驱动系统信号连接,所述驱动系统包括移动控制单元、转动控制单元和加热控制单元,其中:

所述移动控制单元与移动座信号连接,用于在对待预热的笔记本壳体进行预热时,将加热喷头移动到预定位置;

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