[发明专利]存储器器件及其制造方法以及存储器结构在审

专利信息
申请号: 202110705545.2 申请日: 2021-06-24
公开(公告)号: CN113421895A 公开(公告)日: 2021-09-21
发明(设计)人: 杨柏峰;杨世海;林佑明;吴昭谊;马礼修 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L27/22 分类号: H01L27/22;H01L27/24
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人: 顾伯兴
地址: 中国台湾新竹科*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 提供一种存储器器件和制造方法以及存储器结构。所述存储器器件包括衬底、晶体管和存储单元。所述衬底具有半导体器件和设置在所述半导体器件上的介电结构。所述晶体管设置在所述介电结构之上并与所述半导体器件电耦合。所述半导体器件包括栅极、沟道层、多个源极和漏极区、和栅极介电层与第一铁电层的堆叠。所述栅极和所述多个源极和漏极区设置在所述介电结构之上。所述沟道层位于所述多个源极和漏极区之间。所述栅极介电层与第一铁电层的堆叠设置在所述栅极与所述沟道层之间。所述存储单元设置在所述晶体管之上并电连接到所述多个源极和漏极区中的一者。所述存储单元包括铁磁层或第二铁电层。
搜索关键词: 存储器 器件 及其 制造 方法 以及 结构
【主权项】:
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