[发明专利]像素感测器、像素阵列及其形成方法

摘要

一种像素感测器、像素阵列及其形成方法，像素阵列内的格栅结构可至少部分地朝格栅结构的顶表面倾斜或渐缩，以使格栅结构的宽度达到格栅结构的顶表面附近具有接近零的宽度。前述允许于格栅结构之间的彩色滤光片区域之间的间距在彩色滤光片区域的顶表面附近达到接近零间距，其减少及/或最小化在彩色滤光片区域的顶表面附近的彩色滤光片之间的间距。由倾斜或锥状的格栅结构所提供的彩色滤光片区域的紧密间距提供彩色滤光片区域内具有可用于入射光收集的较大表面积及体积，其可增加像素阵列的量子效率。再者，格栅结构的宽度可增加至少部分指向格栅结构的底表面，以使在靠近格栅结构的底表面具有较宽尺寸的格栅结构提供像素阵列内的像素感测器光学串扰的保护。