[发明专利]一种降低硅片崩边脱晶的装置和方法

摘要

本发明公开一种降低硅片崩边脱晶的装置和方法，其装置包括运输网带，所述运输网带的两侧均相对设有若干金属顶针，所述金属顶针包括支撑斜杆，所述支撑斜杆上套设有软壳保护套，其方法包括：将待烧结硅片的两端分别卡放在两侧相应设置的软壳保护套上，两侧支撑斜杆与运输网带之间形成一定的角度，使硅片相对运输网带处于静止状态并能防止硅片左右偏移，软壳保护套可阻止硅片与金属顶针的硬性碰撞。本发明与现有技术相比的优点在于：可防止硅片在运输网带传送的过程中发生偏移，同时可减少硅片与金属顶针的硬性碰撞，从而降低硅片崩边与脱晶不良好的问题。