[发明专利]用于晶圆高度探测信号的分析和评估方法在审
| 申请号： | 202110600845.4 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN113177534A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 武志鹏;李璟;丁敏侠;赵晓东;杨光华;高斌;折昌美 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G06K9/00 | 分类号： | G06K9/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于晶圆高度探测信号的分析和评估方法，包括：采用小波变换的方法，利用多分辨率的特点，对所述高度探测信号进行小波分解，同时获得所述高度探测信号的频域特性和时域特性。采用小波变换的数学方法同时获得高度探测信号的时域和频域特性，解决探测信号属于非平稳型号的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 高度 探测 信号 分析 评估 方法 | ||
【主权项】：
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