[发明专利]用于晶圆高度探测信号的分析和评估方法

权利要求书

1.一种用于晶圆高度探测信号的分析和评估方法，其特征在于，包括：

采用小波变换的方法，利用多分辨率的特点，对所述高度探测信号进行小波分解，同时获得所述高度探测信号的频域特性和时域特性。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述小波变换采用一维离散小波变换对位置探测信号进行分析，采用haar小波基或db小波基进行分析。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，利用所选的小波基，对位置探测信号进行分析，获得相应分解的小波系数序列，并绘制离散小波分解图。

4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，消失矩数值上太大会影响小波函数的紧支撑性，所述小波变换通过选择不同的消失矩和层数，反复迭代分析，提高高度探测信号分析和评估的准确性。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述小波变换选择连续小波变换或小波包基于小波变换的方法。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括对所述高度探测信号进行频域分析，初步获得位置探测信号在频域的特性分析；所述频域分析的方法采用快速傅里叶变换。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，对所述高度探测信号进行分块分析的方法进行处理。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述分块分析的方法包括以下步骤：

对已获得的高度探测信号进行格式化处理，确定数据的采样频率F；

将数据进行分割获得一定数量的数据块；

对于每一个数据块，利用所包含的所有采样值，计算该数据块对应的统计值；

通过分析所有数据块对应的平均值和均方差的变化情况，从而进一步评估整个探测型号的整体稳定情况。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述将数据进行分割获得一定数量的数据块包括：

当高度探测信号采样的总数量为S，每一个数据块的采样个数为N，则获得数据块个数为M＝S/N，余数视为舍弃。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述每一个数据块采样个数即高度探测的最小作用时间，所述每一个数据块采样个数的确定方法需要根据具体的应用场景确定；

在晶圆高度探测过程中，假设一个Die的长度为L，匀速扫描的速度为V，则对于一个Die的测量时间为T＝L/V，T即认为是高度探测的最小作用时间，则每一个数据块采样个数N＝T*F；如果Die的总个数是K，则S＝N*K。