[发明专利]微光探测装置和半导体设备

摘要

该发明公开了一种微光探测装置和半导体设备，根据本发明实施例的微光探测装置包括：旋转平台、第一移动平台、第二移动平台、探针卡、进气口和出气口，旋转平台设有用于承载测试样品的透明的承载台；第一移动平台可转动地设在旋转平台上且可沿第一方向移动，第二移动平台可移动地设在第一移动平台上且可沿第二方向移动，第一方向与第二方向垂直，第一移动平台和第二移动平台与旋转平台配合限定出容纳仓，第二移动平台设有观测部，观测部形成为透明件以用于对容纳仓内部进行观察；探针卡沿竖直方向可移动地设在容纳仓内。所述装置能够为测试样品提供稳定的温度环境，而且能够调节探针卡，使得探测针准确扎在测试样品上。