[发明专利]微光探测装置和半导体设备

说明书

该发明公开了一种微光探测装置和半导体设备，根据本发明实施例的微光探测装置包括：旋转平台、第一移动平台、第二移动平台、探针卡、进气口和出气口，旋转平台设有用于承载测试样品的透明的承载台；第一移动平台可转动地设在旋转平台上且可沿第一方向移动，第二移动平台可移动地设在第一移动平台上且可沿第二方向移动，第一方向与第二方向垂直，第一移动平台和第二移动平台与旋转平台配合限定出容纳仓，第二移动平台设有观测部，观测部形成为透明件以用于对容纳仓内部进行观察；探针卡沿竖直方向可移动地设在容纳仓内。所述装置能够为测试样品提供稳定的温度环境，而且能够调节探针卡，使得探测针准确扎在测试样品上。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种微光探测装置和半导体设备。

背景技术

现有的微光探测设备并没有针对高低温等特定的温度环境设计专用的能够单独使集成电路样品处于封闭状态下的观察箱体，业界通常的做法是固定好测试样品后，再通过外界温度源产生的高低温空气流对准样品表面，使测试样品处于特定的温度下，此种方法测试样品置于箱体后不能够移动调节，也不便于外界探测卡针等对测试样品连接以及探测，而且箱体和高低温气体产生装置通过气管连接，高低温气体通入箱体内，也使得箱体封闭性降低，容易对测试样品造成污染。而且高低温空气流通过气管进入放置测试样品的机台内，来吹击测试样品表面，探测镜头距离测试样品非常近，由此高低温空气难免会对镜头造成干扰甚至损伤镜头，影响探测镜头的准确性和使用寿命。

发明内容

本发明的目的在于提供一种微光探测装置，能够为测试样品提供稳定的温度环境，而且能够调节探针卡，使得探针卡的探针准确扎在测试样品上，方便测试操作。

根据本发明实施例的微光探测装置，包括：旋转平台，所述旋转平台设有用于承载测试样品的透明的承载台；第一移动平台，所述第一移动平台可转动地设在所述旋转平台上且可沿第一方向移动；第二移动平台，所述第二移动平台可移动地设在所述第一移动平台上且可沿第二方向移动，所述第一方向与所述第二方向垂直，所述第一移动平台和所述第二移动平台内形成有底部敞开的中空结构，以与所述旋转平台配合限定出容纳仓，所述承载台位于所述容纳仓底部，所述第二移动平台设有观测部，所述观测部形成为透明件以用于对所述容纳仓内部进行观察；探针卡，所述探针卡沿竖直方向可移动地设在所述容纳仓内且位于所述承载台和所述观测部之间；

进气口和出气口，所述进气口和所述出气口形成在所述第一移动平台或所述第二移动平台上且与所述容纳仓相连通，所述进气口用于向所述容纳仓内通入检测时所需的特定温度的气体，所述出气口用于将所述容纳仓内的气体排出。

根据本发明的一些实施例，所述微光探测装置还包括旋转盘，所述旋转平台上设有环绕至少部分所述承载台周向的旋转轨道，所述旋转盘可转动地配合在所述旋转轨道内，所述第一移动平台与所述旋转盘固定连接。

可选地，所述旋转盘上设有固定凸起，所述第一移动平台设有与所述固定凸起配合的预留凹槽。

根据本发明的一些实施例，所述微光探测装置还包括第一移动装置，所述第一移动平台设有沿第一方向延伸的第一滑槽，所述第一移动装置包括第一驱动装置和与所述第一滑槽可滑动配合的第一滑块，所述第一滑块与所述旋转平台相连，所述第一驱动装置驱动所述第一滑块在所述第一滑槽滑动以驱动所述第一移动平台移动。

可选地，所述第一驱动装置可以为丝杠螺杆，所述丝杠螺杆至少部分伸入所述第一滑槽内，所述第一滑块套设在所述丝杠螺杆上且与所述丝杠螺杆滑动连接。

根据本发明的一些实施例，所述第二移动平台设有与所述容纳仓相通的第一开口和第二开口，所述观测部设在所述第一开口处，所述第二开口敞开且与所述探针卡的外接线束连接器位置对应以便于所述外接线束连接器外接。