[发明专利]一种半导体自动测量装置在审
| 申请号： | 202110489232.8 | 申请日： | 2021-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN115307596A | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 张伟 | 申请（专利权）人： | 海太半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/22 | 分类号： | G01B21/22 |
| 代理公司： | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人： | 赵华 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种半导体自动测量装置，包括样品台和测量结构，样品台顶部设有固定结构，测量结构包括支架，支架为L型，支架的底部通过移动导轨结构进行移动，支架侧壁设有控制面板，支架的顶部横梁下方设有电机，电机通过螺栓与支架固定连接，电机的输出轴顶端设有测量装置；本发明通过不移动样品，而改成测量装置的多角度变化，使测量结果更准确，同时避免了人工翻转移动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 自动 测量 装置 | ||
【主权项】：
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