[发明专利]一种半导体自动测量装置

说明书

本发明提供一种半导体自动测量装置，包括样品台和测量结构，样品台顶部设有固定结构，测量结构包括支架，支架为L型，支架的底部通过移动导轨结构进行移动，支架侧壁设有控制面板，支架的顶部横梁下方设有电机，电机通过螺栓与支架固定连接，电机的输出轴顶端设有测量装置；本发明通过不移动样品，而改成测量装置的多角度变化，使测量结果更准确，同时避免了人工翻转移动。

技术领域

本发明主要涉及半导体测量领域，尤其涉及一种半导体自动测量装置。

背景技术

目前，半导体分析作为技术尖端行业，测量必不可少，由于测量角度较多，只能通过人工移动样品实现角度的变化，以达到多角度测量的目的。但是多角度移动后，不仅费时费力，还极易造成样品定位中心变化，导致测量误差的存在。同时，翻转、移动后，难以完全固定，容易晃动，对测量以及建模造成极大的不便。

发明内容

针对现有技术的上述缺陷，本发明提供一种半导体自动测量装置，包括样品台1和和测量结构，样品台1顶部设有固定结构11，测量结构包括支架2，支架2为L型，支架2的底部通过移动导轨结构6进行移动，支架2侧壁设有控制面板5，支架2的顶部横梁下方设有电机3，电机3通过螺栓与支架2固定连接，电机3的输出轴顶端设有测量装置4。

优选的，样品台1为可旋转样品台，顶部设有防滑纹。

优选的，支架2为铝合金材质，内部中空，拐角处设有加强筋。

优选的，测量装置4为影像测量仪。

优选的，电机3采用双向步进电机，控制面板5通过电信号与电机3相连，并控制其启闭与旋转方向。

优选的，控制面板5通过电信号与测量装置4相连，并在根据测量装置4的信号反馈进行尺寸数据计算后，将数据通过无线信号发送至外部设备。

优选的，移动导轨结构6中，轨道两侧均设有限位结构。

本发明的有益效果：通过不移动样品，而改成测量装置的多角度变化，使测量结果更准确，同时避免了人工翻转移动。

附图说明

图1为本发明的结构图；

图中，

1、样品台；2、支架；3、电机；4、测量装置；5、控制面板；6、移动导轨结构；11、固定结构。

具体实施方式

为了使本技术领域人员更好地理解本发明的技术方案，并使本发明的上述特征、目的以及优点更加清晰易懂，下面结合实施例对本发明做进一步的说明。实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。

如图1所示可知，本发明包括有：样品台1和测量结构，样品台1顶部设有固定结构11，测量结构包括支架2，支架2为L型，支架2的底部通过移动导轨结构6进行移动，支架2侧壁设有控制面板5，支架2的顶部横梁下方设有电机3，电机3通过螺栓与支架2固定连接，电机3的输出轴顶端设有测量装置4。

在本实施中优选的，样品台1为可旋转样品台，顶部设有防滑纹。

设置上述结构，防滑纹用于防止产品滑落。

在本实施中优选的，支架2为铝合金材质，内部中空，拐角处设有加强筋。

设置上述结构，铝合金材质，内部中空的支架2可以降低自身的重量，加强筋防止折弯。

在本实施中优选的，测量装置4为影像测量仪。

设置上述结构，可以避免直接接触，防止样品损伤。

在本实施中优选的，电机3采用双向步进电机，控制面板5通过电信号与电机3相连，并控制其启闭与旋转方向。