[发明专利]一种具有废水处理功能的半导体加工装置

摘要

本发明公开了一种具有废水处理功能的半导体加工装置，属于半导体加工领域。一种具有废水处理功能的半导体加工装置，包括箱体，所述箱体侧壁合页连接有第一箱门和第二箱门，所述箱体侧壁设有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有第一转轴，所述第一转轴上用固定机构，所述箱体内转动连接有往复螺纹杆；本发明，通过固定机构的设置便于对硅棒进行固定，往复螺纹杆的设置便于抛光板往复移动，第一弹簧的设置便于使抛光板与硅棒始终相贴，第一抽排水机构的设置便于对硅棒和抛光板进行清洗、降温，电极板、抽排气机构的设置便于吸附水中的粉末杂质，第二抽排水机构的设置便于将箱体底部的水导入水箱内重复利用。